收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

氧等离子体处理对ITO薄膜表面性能的影响

刘陈  朱光喜  刘德明  
【摘要】:利用原子力显微镜研究氧等离子体处理对ITO薄膜的微观表面形貌及表面润湿性能的影响。实验结果表明:经过氧等离子体处理,ITO薄膜的平均粗糙度和峰-谷粗糙度减小,薄膜的平整度提高;而且表面吸附力增大近一倍,表面能增大,接触角减小,使ITO薄膜表面的润湿性能和吸附性能得到改善。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 程天蓉,黄春辉,甘良兵;氮杂芪唑盐单层LB膜修饰的ITO玻璃电极上的光电响应研究[J];科学通报;1997年10期
2 刘建胜,李铮,张其善;透明电极 ITO 导电性对 ACTFEL 显示器的尺寸限制及其改善方法[J];航空学报;1998年05期
3 於定华,叶熙源,余大斌,王自荣,朱晓颖;ITO作填料的涂层光谱特性研究[J];功能材料;1999年06期
4 陈跃;磁控溅射ITO透明导电薄膜的研究[J];福州大学学报(自然科学版);1999年04期
5 黄健柏,钟美瑞;用期权定价模型估价创业企业的价值[J];运筹与管理;2002年06期
6 陆晓莉,杨玉兰,薛长利,李燕;ITO阻值的精确计算及影响因素[J];液晶与显示;2002年03期
7 赵俊卿,韩圣浩,解士杰,姜雪宁,夏广瑞,叶丽娜;聚合物基片对柔性有机发光器件性能的影响[J];发光学报;2003年05期
8 许旻 ,邱家稳 ,贺德衍;退火对反应磁控溅射制备ITO薄膜性能影响[J];真空科学与技术;2003年03期
9 季振国,王超,刘坤;ITO/Al_2O_3复合透明导电膜的制备及光电性能[J];真空科学与技术;2003年03期
10 林钰,辛荣生,贾晓林;ITO透明半导体膜的研究[J];河南教育学院学报(自然科学版);2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前3条
1 李兴华;周泊;朱俊杰;;电化学沉积制备硒化铋纳米薄膜[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
2 李路海;王铭;蒲嘉陵;;薄膜电极技术及其应用进展[A];2006年全国功能材料学术年会专辑[C];2006年
3 高敏侠;林秀梅;任斌;;均匀的强SERS活性基底的制备及表征[A];第十四届全国分子光谱学术会议论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 陈曙光;铟锡氧化物(ITO)粉体及高性能ITO靶材的制备与研究[D];华中科技大学;2005年
2 李皓;心衰机理及hKv4.3基因表达调控研究[D];吉林大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 王智泳;鲁米诺在ITO玻璃上的电化学发光行为研究[D];苏州大学;2005年
2 展侠;纳米金粒子的溶液法制备及其自组装研究[D];浙江大学;2006年
3 尹若晶;ITO透明导电薄膜的研究[D];长春理工大学;2006年
4 阳秀;聚合物发光器件的制备及性能研究[D];电子科技大学;2006年
5 顾希;一种新的电化学发光试剂及用于DNA氧化损伤表征的研究[D];苏州大学;2006年
6 李秀敏;用机械活化方法从ITO废料中强化浸出铟锡的动力学研究[D];广西大学;2006年
7 王恬;基于ITO的单分子检测及其应用于电转印技术的初步探讨[D];山东大学;2007年
8 王伟华;柔性ITO透明导电薄膜的研究[D];浙江大学;2007年
9 朱红兵;CuInSe_2薄膜太阳能电池光吸收层、缓冲层、电极的制备与性能研究[D];华东师范大学;2007年
10 王文;论国际服务外包业与中国服务外包业的发展[D];华东师范大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 陈亮;香港争当亚洲专业自保中心[N];中国保险报;2000年
2 白曼央宗;GATT:临时生效近半个世纪[N];西藏日报;2000年
3 本报记者 綦久竑;网上出现“知识分子灰”[N];中国经营报;2000年
4 蒋晓岚 孔令刚;从关贸总协定到世贸组织(上)[N];安徽日报;2001年
5 主持人 张翼;WTO与关贸总协定是什么关系[N];光明日报;2001年
6 崔亚超;南玻成为全球最大导电玻璃基地[N];中国电子报;2002年
7 本报记者 傅继红 许晖;ITS重新定义韩资企业[N];中国经济时报;2002年
8 闻丹岩;网络中的韩流[N];中国计算机报;2002年
9 本报记者 顾洪文;Itopsoft:“韩流”的中国路[N];计算机世界;2002年
10 ;中国正在成为科技产品的“世界工厂”[N];深圳商报;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978