激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究

【摘要】：利用激光退火的方式在低温下制备多晶硅薄膜，采用ＸＲＤ、ＳＥＭ等分析手段，进行了表征与分析，对晶化的阈值能量密度进行了计算，并对激光退火的机理进行了探讨。研究结果表明：ａ－Ｓｉ晶化的阈值能量密度与薄膜的厚度无关，在晶化区内，晶粒尺寸的大小随着照射到薄膜表面的激光能量密度的增加而增加。

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1	张魁武;;半导体材料激光退火技术研究(一)[J];世界制造技术与装备市场;2008年02期
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3	刘世祥,朱美芳,姚德成,石万全;激光退火的机理[J];物理;1983年09期
4	鲍希茂,黄信凡,郭禾,张梅;在离子注入硅激光退火时引入缺陷[J];半导体学报;1983年06期
5	张培宁,丁乐礼;利用离子注入激光退火制作高效率多晶硅太阳电池[J];太阳能学报;1985年03期
6	吴春亚,张建军,李洪波,王庆章,王宗畔,赵颖,耿新华,孙钟林;a-SiGe_x∶H薄膜准分子激光晶化的研究[J];光电子技术;1998年03期
7	邹世昌 ,B.I.Deutch ,柳襄怀 ,陈朝荣 ,林成鲁 ,吴恒显 ,陆世桢 ,沈振东;离子注入硅Nd-YAG连续激光退火[J];电子学报;1979年04期
8	杜金波;;激光处理半导体[J];激光与红外;1980年02期
9	王巧霞;;一种很有前途的退火工艺——激光退火[J];电子工业专用设备;1979年02期
10	许少龙;激光退火产生磁泡[J];激光杂志;1980年02期
11	史永基;硅激光退火动力学[J];固体电子学研究与进展;1986年03期
12	姜润清,张燕,孙喻明;激光退火对碲镉汞电性能的影响[J];山东大学学报(自然科学版);2000年02期
13	卢励吾,许振嘉,蔡田海,阮圣央;硅中激光退火点缺陷的钝化/消除[J];半导体学报;1983年05期
14	张魁武;;半导体激光退火原理[J];世界制造技术与装备市场;2008年01期
15	黄德修;激光微加工的未来[J];微细加工技术;1984年03期
16	宋马成;;半导体激光退火(Ⅱ)——实验现象的理论探讨[J];微纳电子技术;1981年04期
17	孙宝寅,刘玉兰,李文年,江剑平,王振明;离子注入型蓝光灵敏的光电探测器[J];半导体学报;1985年04期
18	王青圃,杨旭东,赵圣之,王公堂,程兴奎,岳书彬;掺钇非晶硅薄膜的激光退火[J];激光杂志;1989年01期
19	李美成,杨建平,王菁,陈学康,赵连城;脉冲激光制备硅基超薄PtSi薄膜[J];功能材料;2001年03期
20	A.E.Bell;陈桂英;;激光退火的评论与分析——第一部分:评述[J];微电子学与计算机;1981年04期

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前10条

1	徐二明;梁二军;;非晶硅薄膜激光退火的研究[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
2	田雪雁;徐征;;铁电薄膜退火方法的研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集（2）[C];2007年
3	段锦;王光腾;景文博;;激光远场能量密度分布测试系统的设计与实现[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
4	周展超;郭丽芳;;Lightsheer Duet和Lightsheer脱毛的临床比较[A];第七届中国医师协会美容与整形医师大会论文集[C];2010年
5	吴如山;安芸敬一;;地震波的多次散射和能量传递以及理论对兴都库什地区的应用[A];中国科学院地球物理研究所论文摘要集（1984）[C];1989年
6	陈相仲;程照溪;沈群东;;光交联法提高新型储能电容用电活性高分子的能量密度[A];中国化学会第27届学术年会第05分会场摘要集[C];2010年
7	张昊星;谢小军;;大鳍鱯鱼体的能量密度及其预测模型[A];野生动物生态与管理学术讨论会论文摘要集[C];2001年
8	王军辉;谢小军;;瓦氏黄颡鱼鱼体的能量密度及化学组成[A];野生动物生态与管理学术讨论会论文摘要集[C];2001年
9	吴淑莲;方玉宏;李晖;谢树森;;激光美容中光生物相互作用的探讨[A];第十次中国生物物理学术大会论文摘要集[C];2006年
10	吴如山;;地震波的多次散射和能量传递——散射效应和固有衰减的分离 Ⅰ.理论模型[A];中国科学院地球物理研究所论文摘要集（1985）[C];1989年

中国博士学位论文全文数据库

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10	王玮;状态方程穿越-1的暗能量模型[D];大连理工大学;2007年

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3	马学见;离子注入铌酸锂波导的退火研究[D];山东大学;2008年
4	李帅;激光远场能量密度分布测试方法研究[D];长春理工大学;2010年
5	张昊星;大鳍鳠（Mystus macropterus Bleeker）鱼体生化组成及其能量密度季节性动态的研究[D];西南师范大学;2002年
6	张蕾;不同能量密度HMME-PDT对防龋效果影响的实验研究[D];天津医科大学;2011年
7	王军辉;瓦氏黄颡鱼（Pelteobagrus Vachelli Richardson）鱼体化学组成的周年变化与能量密度预测模型[D];西南师范大学;2002年
8	李东海;短脉冲激光对材料的作用及破坏机理研究[D];中国工程物理研究院;2010年
9	陈明权;基于位置信息的无线传感器网络路由算法研究[D];湖南大学;2009年
10	陈绍红;4～12月婴儿能量摄入与体重生长关系研究[D];重庆医科大学;2006年

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1	记者王俊鸣;生物丙烷即将成为新能源[N];科技日报;2007年
2	曹其玮;SDC技术突破 OLED产业重燃生机[N];电子资讯时报;2007年
3	吴月;肥胖症的营养防治[N];医药养生保健报;2007年
4	集浩志;日本电子展出大容量电容器[N];中国电力报;2006年
5	诸玲珍;动力锂离子电池：需提高安全性及能量密度控制成本[N];中国电子报;2008年
6	保健时报记者邱爽;温总理饮食十二字诀解析[N];保健时报;2007年
7	中国驻大阪总领事馆经商室;日本车用锂离子电池进入实用阶段[N];中国贸易报;2006年
8	罗清岳;电池革命满足产品便携之需[N];电子资讯时报;2006年
9	宗文;十大“垃圾食品”排行榜[N];工人日报;2007年
10	记者李映;GPS功能成热点 3G手机电池比容量[N];中国电子报;2007年

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