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Ka波段MEMS分布线式移相器特性的仿真研究

甄可龙  吕善伟  张龙  张岩  
【摘要】:在理想共面波导CPW(coplanar-waveguide)上周期性加载微电子机械系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)开关,实现了4位Ka波段分布线式DMTL(distributed MEMS transmission line)移相器的建模和仿真。通过改变驱动电压来调整MEMS桥的高度,从而改变CPW的相速达到实时延迟。并采用HFSS全波分析和ADS电路分析工具,经仿真计算表明在38GHz以下移相器具有良好的移相精度(3°)、较低的插损(S21在-10dB以下)及回波损耗(S11-4dB),在弹载相控阵收发组件上具有较大应用价值。

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