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超声复合研磨光学玻璃机理及表面特征

肖强  李言  李淑娟  
【摘要】:根据光学玻璃硬度高和脆性大的特点,从理论上分析了超声波研磨加工光学玻璃材料的去除机理,试验表明,超声加工工具振动振幅为0.03~0.1 mm,频率为16~25 kHz条件下,超声波的超精密加工光学玻璃比不加超声振动加工材料去除率高1.5倍左右,表面质量好,粗糙度值降低100%左右。

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