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离子注入形成表层耐蚀合金的结构分析

许承惠  蔡伟平  田薇  
【摘要】:本文介绍利用美国伯克利Lawrence实验室的Mevva金属离子注入机在退火后的纯铁表面进行多种元素离子注入.利用透射电子显微镜对表层合金及次表层中的第二相作了电子衍射结构分析,并研究了离子注入所形成的表层耐蚀合金的组织、结构及其腐蚀性能。结果表明:纯铁表面注入能量为38~55keV,剂量为(0.5~6)×1016/m2的Cr+,Ni+,Ti+多种元素的离子,能在表层形成非晶+微晶型的耐蚀合金,次表层中形成Ti2Ni合金第二相,并有大量位错。

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