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(Pb,La)TiO_3铁电薄膜的制备及热释电性能研究

陈磊  刘梅冬  曾亦可  饶韫华  李楚容  
【摘要】:讨论了PLT15铁电薄膜的溶胶-凝胶制备技术,及PLT薄膜的结构和电性能研究。结果表明,在Si基片上成功地生长出钙钛矿型结构多晶铁电薄膜,在(111)Pt/Ti/SiO2/Si上外延生长出(111)PLT15铁电薄膜。溶胶-凝胶制备的PLT15铁电薄膜具有优良的热释电性能,其热释电系数p为5.25×10-8Ccm-2K-1,电压响应率优值FV达到0.78×10-10Ccm/J,探测率优值Fm为1.13×10-8Ccm/J,适于制备热释电红外探测器

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