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Sol-Gel法制备PZT薄膜及其抗疲劳性能研究进展

刘大格  张洪喜  王中  蔡伟  赵连城  
【摘要】:综述了Sol-Gel法制备PZT系列铁电薄膜各种因素对薄膜微结构及性能的影响,分析了铁电薄膜极化疲劳微观机制,提出了优化的工艺条件及极化疲劳改善方法。

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