收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

微机械惯性器件

吕志清  吴旭峰  
【摘要】:微电子加工技术和振动惯性技术相结合使惯性仪表技术发生了重大变革,惯性器件的概念已从宏观领域发展到微观世界,人们已能象生产集成电路那样来生产惯性器件,这类惯性器件被称为微机械惯性器件。文章叙述了微机械惯性器件的发展状况、技术趋势及市场预测。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 杨永生;;MEMS器件及其在生物医学上的应用[J];装备制造技术;2011年08期
2 ;[J];;年期
3 ;[J];;年期
4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 荣丽梅;常嗣和;姬红;阮世池;;石英微机械振动陀螺振子的失效分析[A];第三届全国扫描电子显微学会议论文集[C];2003年
2 王海翔;孙萍;;微机械和微机器人研究的最新进展[A];中国仪器仪表学会第三届青年学术会议论文集(上)[C];2001年
3 李海军;杨拥军;徐永青;郑七龙;;一种新型光通信用微机械可变光衰减器[A];提高全民科学素质、建设创新型国家——2006中国科协年会论文集(下册)[C];2006年
4 沈雪瑾;侯利程;刘谨;;硅微机械动平板表面粘附阻力[A];2006全国摩擦学学术会议论文集(二)[C];2006年
5 徐爱东;杨拥军;卢新艳;;MEMS惯性器件的新进展及应用[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年
6 祝安定;刘宇翔;汪飞;夏安东;黄文浩;;光摄技术在驱动微机械器件方面的应用[A];全球化、信息化、绿色化提升中国制造业——2003年中国机械工程学会年会论文集(微纳制造技术应用专题)[C];2003年
7 汪学方;马斌;任继文;刘胜;张鸿海;吕民富;;冲击试验机原理及其设计[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
8 郭书祥;;应用ICPF高分子素子的新型微小医用泵(英文)[A];材料科学与工程技术——中国科协第三届青年学术年会论文集[C];1998年
9 贾玉斌;陈良惠;李玉璋;;一种微机械光开关理论分析[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
10 徐宁宁;马慧莲;金仲和;丁纯;;一、二阶释放模型在表面微机械中的应用[A];中国仪器仪表学会第六届青年学术会议论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前4条
1 吕琼莹;微机械压电微电机原型机的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2001年
2 熊斌;栅结构微机械振动式陀螺[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2001年
3 刘宗林;电容式微惯性器件设计理论与方法研究[D];国防科学技术大学;2004年
4 刘盛;旋转体视显微检测理论及装置研究[D];浙江大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈宇晓;电容式微机械静电伺服加速度计系统分析[D];电子科技大学;2003年
2 李伟;高g值硅微加速度计的结构设计与分析[D];南京理工大学;2005年
3 郝颖;微机械加速度计的测试与应用研究[D];哈尔滨工程大学;2002年
4 陈广文;基于MEMS的微机械射频开关的研究和设计[D];厦门大学;2002年
5 朱强;作战应用条件下惯性测量装置测试标定方法研究[D];国防科学技术大学;2007年
6 解启瞻;捷联惯导系统中石英加速度计温漂补偿研究[D];重庆大学;2009年
7 林伟俊;电容式微机械加速度传感器检测电路研究[D];浙江大学;2010年
8 郑晓东;基于DSP的加速度计温度模型辨识与补偿方法研究[D];西安电子科技大学;2007年
9 高健;基于ARM处理器的捷联系统研究[D];哈尔滨工业大学;2007年
10 王成;基于DSP的加速度计温度补偿系统设计与研究[D];西安电子科技大学;2007年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 ;ZnO薄膜的MOCVD生长技术[N];科技日报;2006年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978