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一种毫米波调谐微带滤波器的研制

蔡喆  
【摘要】:该文基于金丝键合工艺和薄膜工艺,实现了一种低插损、小型化毫米波调谐微带滤波器。首先提出了一种加载矩形孔的半波长开路可调谐振器,通过在不同矩形孔上键合金丝来改变谐振器的等效电感值,从而改变谐振频率。然后利用所提出的可调谐振器实现了一种Ka频段五阶调谐带通滤波器,通过改变键合金丝状态来调谐频率,实现仿真和实测结果之间的偏差修正,解决了在毫米波频段由于介电常数批次性差异以及加工误差等因素造成的窄带滤波器频率偏移的问题。为了验证其可行性,对五阶调谐微带滤波器进行仿真、优化、加工及测试。结果表明,该滤波器的通带可调范围为35.35~35.95 GHz,插入损耗小于4.6 dB,能够实现所需通带。

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