钽酸锂晶体滤波器的离子束刻蚀技术研究

【摘要】：以钽酸锂晶体作为晶体滤波器压电材料。通过优化离子束刻蚀工艺参数,采用间歇式离子束刻蚀方法,解决了刻蚀区微裂纹工艺问题,使厚度为60μm钽酸锂晶片减薄至30μm。利用反台阶结构晶片制作出了中心频率为70MHz、3dB带宽为1 109kHz的高基频宽带钽酸锂晶体滤波器。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	R.A.C.Bache;C.O'Hara;A.D.Parsons;N.M.Shorrochs;D.J.Pedder;赵鹏;;高级多元热探测器中热电陶瓷的离子束刻蚀[J];航空兵器;1991年03期
2	邹冰康;;115MHz晶体滤波器[J];无线电通信技术;1981年04期
3	Bertrand d'Albaret;Pascal Ssffert;贾春民;;超高频晶体滤波器的新进展[J];宇航计测技术;1984年S1期
4	沈荣桂,金国良,陈益新;CF_4反应离子束刻蚀在微细加工中的应用[J];上海交通大学学报;1989年02期
5	俞国良;;离子束刻蚀CdHgTe半导体的方法[J];红外技术;1984年02期
6	周献文;胡远帆;;离子束刻蚀的束流回路控制[J];真空科学与技术学报;1985年02期
7	孟宪光 ,尤大纬;LSK—500型离子束刻蚀机通过成果鉴定[J];电工电能新技术;1983年03期
8	吴惠军;;VHF/UHF晶体滤波器的进展[J];宇航计测技术;1992年03期
9	苟永明;滤波器的发展及应用[J];世界电子元器件;1998年06期
10	胡新宁,刘刚,田扬超;离子束刻蚀入射角对图形侧壁陡度影响的研究[J];微细加工技术;2003年04期
11	于小亭;雷震寰;;1056MHz反台晶体温补振荡器[J];现代雷达;2007年11期
12	黄显核,周鹤琴,郭瑞杰;用于抑制无线通讯网间干扰的甚高频晶体滤波器[J];电讯技术;1999年04期
13	毕晓川,孙光宇,孙军,洪义麟,徐向东,霍同林,付绍军,张新夷;离子束刻蚀正交位相型Ronchi光栅研究[J];量子电子学报;1999年04期
14	徐向东,洪义麟,傅绍军;光刻胶灰化用于全息离子束刻蚀光栅制作[J];真空科学与技术;2003年05期
15	黄良甫;李守忠;谈治信;惠金河;周献文;周先明;;声表面波沟槽器件反射栅的离子束刻蚀[J];真空科学与技术学报;1983年06期
16	李云奇,王宝霞;薄膜干法刻蚀技术的现状与发展趋势[J];真空;1987年05期
17	胡先贞;;Ar离子束刻蚀对Gd-Ba-Cu-O超导薄膜的影响[J];真空电子技术;1990年01期
18	陈翠香;;低频晶体滤波器的设计[J];宇航计测技术;1992年05期
19	赵光兴;杨国光;陈洪璆;侯西云;;微透镜列阵的离子束刻蚀及衍射效率测量[J];中国激光;1997年01期
20	田克纯;周武中;覃远年;;消除端电容对单片晶体滤波器影响的方法[J];压电与声光;2008年06期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张婷婷;刘晓宙;龚秀芬;;钽酸锂晶体的声学特性的研究[A];2011'中国西部声学学术交流会论文集[C];2011年
2	张艳丽;;掺镁钽酸锂晶体的非线性光学性质研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
3	林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
4	刘颖;王旭迪;徐向东;洪义麟;付绍军;;氧化铪光栅离子束刻蚀方法研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
5	李庆利;;70MHz窄带石英晶体滤波器的设计与实现[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年
6	彭胜春;陈湘渝;刘光聪;;高频宽带钽酸锂晶体滤波器的研制[A];2009’中国西部地区声学学术交流会论文集[C];2009年
7	许晓慧;刘卫国;陈智利;;低能离子束刻蚀自组织纳米结构研究[A];2010年西部光子学学术会议摘要集[C];2010年
8	徐向东;洪义麟;霍同林;周洪军;陶晓明;傅绍军;;同步辐射Laminar光栅的研制[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
9	李俊;周显明;梁万珍;经福谦;;LiTaO_3晶体高压结构相变的理论研究[A];第四届全国爆炸力学实验技术学术会议论文集[C];2006年
10	赵业权;贾宝申;张学锋;申岩;刘立人;;掺镁近化学计量比LiTaO_3晶体的生长及光学性能(英文)[A];《硅酸盐学报》创刊50周年暨中国硅酸盐学会2007年学术年会论文集（一）[C];2007年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	周小为;大口径衍射光学元件的离子束刻蚀及相关问题的研究[D];中国科学技术大学;2010年
2	董晓浩;X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究[D];中国科学技术大学;2007年
3	林慧;极紫外多层膜光栅的浮雕衬底制作及衍射效率测量与分析[D];清华大学;2009年
4	林华;介质膜光栅：光刻胶掩模占宽比和离子束刻蚀槽深的监控[D];清华大学;2005年
5	邱克强;软X射线透射光栅制作[D];中国科学技术大学;2008年
6	袁烨;铌酸锂、钽酸锂超晶格：制备技术优化及其应用研究[D];南京大学;2012年
7	石磊;大尺寸衍射光栅的制造[D];清华大学;2011年
8	张自军;磁性微结构的制作及其特性研究[D];中国科学技术大学;2008年
9	肖凯;软X射线聚焦波带片研究[D];中国科学技术大学;2006年
10	谭鑫;13.9nm光栅分束器及相关问题研究[D];中国科学技术大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	陈湘渝;5MHz单片式硅酸镓镧晶体滤波器[D];电子科技大学;2009年
2	胡顺华;高选择性晶体滤波器的研制[D];电子科技大学;2013年
3	周兰飞;高频窄带小群时延晶体滤波器的研制[D];电子科技大学;2013年
4	史婷婷;掺镁钽酸锂晶体的非线性光学性质研究[D];南京航空航天大学;2010年
5	张殿文;亚波长衍射光学元件增透特性的研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
6	李佳;用于传像光纤束集成的折射微透镜阵列研究[D];华中科技大学;2008年
7	邵净羽;石英晶振器件的激光刻蚀频率微调研究[D];浙江大学;2008年
8	方玲玲;光纤光栅相位掩模的设计及其制作[D];苏州大学;2006年
9	史明甫;一种新颖的纳米沟道制造技术研究及其应用[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2007年
10	何波;离子束刻蚀HgCdTe环孔光电二极管及MIS器件研究[D];昆明理工大学;2007年

中国重要报纸全文数据库

前4条

1	文武;烽火的“攻关专家”[N];中国电子报;2004年
2	天津赵明安;可测晶振的1000MHz频率计[N];电子报;2002年
3	中国电子信息产业发展研究院信息工程咨询中心李纪英;SMD：石英晶体元器件新亮点[N];中国电子报;2003年
4	张明烈朱中群;江苏无锡新区成为光电产业基地[N];国际商报;2000年

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