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一种新型的锥尖制作方法研究

欧益宏  温志渝  周民来  
【摘要】:主要介绍利用反应离子腐蚀和等离子腐蚀相结合的方法制作真空微电子压力传感器中锥尖阵列。探讨合理选择制作材料,优化锥尖形状,锐化锥尖尖度,以提高传感器灵敏度,增大阴极锥尖的发射电流。测试结果表明:优化的锥尖发射电流在电压为3V时可达0.2nA,灵敏度为0.1μA/g。

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