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层状结构铁电薄膜中频率对界面电位降的影响

李兴教  王宁章  鲍军波  冯汉华  陈涛  周健  袁润章  
【摘要】:利用准分子激光原位淀积方法制备了层状结构铁电薄膜 ,借助 HP4 192 A低频率阻抗分析仪对样品的C- V特性进行了测试 ,对同一频率下不同结构的铁电薄膜的界面电压降及不同频率下同一结构的铁电薄膜的界面电压降进行计算。结果表明 ,在同一频率下不同结构的铁电薄膜其界面电压降不同 ,同一结构的多层铁电薄膜在不同频率下其界面电压降也不同。不同的耗尽层厚度导致了界面电压降的不同

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