收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

具有亚微米指条周期电极的0.9—1.9千兆赫低损耗声表面波滤波器

S.Urabe  杨清宗  
【摘要】:用新的制作方法,在具有非单向换能器的128°YX-LiNbO_3基片上,制成了图案尺寸为1平方毫米和亚微米指条周期双电极的两种千兆赫低损耗声表面波(SAW)滤波器,一种是周期为1微米、插入损耗为5分贝的0.9千兆赫滤波器,另一种是周期为0.5微米、插入损耗为7分贝的1.9千兆赫滤波器这种新的制作方法由晶片电子束直接记录、二级掩模转移和离子束刻蚀组成.从电子抗蚀剂PMMA到AZ-1350J光刻胶的掩模转移,保证了掩模的高精度和铝电极抗离子束刻蚀的高的能力.插入损耗的降低主要通过离子束刻蚀条件的最佳化,即由电极边缘几何形状、离子刻蚀表面损伤和电极膜吸收引起的声传播损耗的降低来实现.用作调谐元件的引线电感也有助于插入损耗的降低并能使封装小型化.制成的0.9千兆赫滤波器满足了日本地面移动式电话系统用的带通滤波器的所有性能,并能付诸系统实用.

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 T.Mitsuyu,O.Yamazaki,杨龙其;4.4千兆赫ZnO单晶膜/兰宝石SAW滤波器[J];压电与声光;1983年03期
2 S.Urabe,杨清宗;具有亚微米指条周期电极的0.9—1.9千兆赫低损耗声表面波滤波器[J];压电与声光;1981年05期
3 S.Aihara;H.Katoh;李春发;;11和14千兆赫低噪声砷化镓场效应晶体管放大器[J];微纳电子技术;1978年03期
4 哨兵;;8千兆赫3.9分贝的低噪声晶体管[J];微纳电子技术;1974年11期
5 立新功;;微带毫米波源在30和60千兆赫下输出0.25瓦[J];微纳电子技术;1975年01期
6 为民;;微波晶体管的进展[J];微纳电子技术;1976年01期
7 庆双胜;;16千兆赫砷化镓调谐放大器[J];微纳电子技术;1971年10期
8 S.Y.Narayan;管丕恺;;中功率砷化镓肖特基势垒场效应晶体管[J];微纳电子技术;1976年08期
9 黄伟加;;覆盖0.02~18千兆赫的自动频率计数器[J];电子技术;1976年01期
10 维东;工作在K波段的GaAsFET[J];半导体技术;1977年05期
11 陆建村;磷化铟:工艺现状和应用前景(下)[J];稀有金属;1979年06期
12 罗敬承;;微波砷化镓场效应晶体管的进展[J];微纳电子技术;1979年05期
13 柳长春;;2~4千兆赫倍频程微波集成晶体管放大器[J];微纳电子技术;1979年Z1期
14 R.B.Dybdal ,于霆;毫米波雷达在空间目标识别中的应用[J];系统工程与电子技术;1980年09期
15 袁文麐;陈启美;;毫米波雷达的原理及应用[J];现代兵器;1981年10期
16 荣炳麟;12千兆赫参量放大器[J];固体电子学研究与进展;1982年01期
17 陈述泉;;毫米波平面阵列天线[J];电讯技术;1983年04期
18 刘海龙,鲁坤生,何乃琪,王福昌;五千兆赫微波频率合成器[J];华中科技大学学报(自然科学版);1986年04期
19 匡梅;光子晶体模数(A-D)转换可直接对千兆赫信号采样[J];光电子技术与信息;2005年01期
20 行军;;2~4千兆赫下增益为40分贝的薄膜放大器[J];微纳电子技术;1971年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 唐萌圣;;论WJ-A型八千兆赫广播电视专用微波接力线路设备的改造与更新[A];1989年全国微波会议论文集(上)[C];1989年
2 张乾本;;用于超导接收机中的12千兆赫低噪声放大器[A];1997年全国微波会议论文集(上册)[C];1997年
3 左金;刘俊志;;气流粉碎分级技术在亚微米粉体材料制备中的应用[A];纳微粉体制备与应用进展——2002年纳微粉体制备与技术应用研讨会论文集[C];2002年
4 刘俊志;蒋新民;;气流粉碎分级技术在亚微米粉体材料制备中的应用[A];中国颗粒学会2002年年会暨海峡两岸颗粒技术研讨会会议论文集[C];2002年
5 宋洪伟;;纳米及亚微米钢铁材料的研究进展[A];2002年材料科学与工程新进展(上)——2002年中国材料研讨会论文集[C];2002年
6 王飞;倪永红;刘洪江;徐正;;长方体状亚微米Cu_2S棒的源模板路线合成[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(上卷)[C];2003年
7 曾贵玉;聂福德;;亚微米TATB粒子除酸的方法[A];中国工程物理研究院科技年报(2002)[C];2002年
8 丁观军;祝名伟;钱国栋;王智宇;洪樟连;王民权;;单分散亚微米二氧化硅玻璃微球的制备[A];全国第三届溶胶—凝胶科学技术学术会议论文摘要集[C];2004年
9 沈健;齐龙浩;潘伟;谢沐文;;凝胶铸成形制备亚微米氧化铝陶瓷固化工艺研究[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
10 朱晨光;;无线网络技术的应用[A];天津市电视技术研究会2009年年会论文集(1)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 李玲霞;亚微米BaTiO_3 X7R MLC细晶陶瓷介质材料的介电性能研究[D];天津大学;2003年
2 祝名伟;光子晶体用SiO_2/Ag/SiO_2核壳结构亚微米微球制备与性能研究及其自组装[D];浙江大学;2005年
3 孟韵;煤燃烧过程中有害元素和亚微米颗粒物排放与控制的理论与实验研究[D];南京理工大学;2004年
4 李勃;自组织亚微米有序结构及其光子带隙性质研究[D];清华大学;2004年
5 张国旺;超细搅拌磨机的流场模拟和应用研究[D];中南大学;2005年
6 刘骏跃;声表面波惯性器件传感检测技术研究[D];西北工业大学;2007年
7 何雨石;LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2正极材料制备与改性及其电化学性能研究[D];上海交通大学;2007年
8 白素媛;亚微米薄膜导热特性的研究[D];大连理工大学;2010年
9 黄煜梅;CMOS蓝牙收发器中低噪声放大器的设计及高频噪声研究[D];复旦大学;2004年
10 赵燕;具有特殊润湿性能的聚合物基界面材料的构筑:表面化学组成与微观几何结构[D];上海交通大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 肖尚辉;SAW滤波器设计实现及其频率稳定性的研究[D];电子科技大学;2002年
2 李洪武;亚微米颗粒增强铝基复合材料的制备、组织与性能研究[D];中南大学;2004年
3 刘鸿娟;亚微米直径光纤的制造及其中的受激拉曼散射效应[D];江西师范大学;2005年
4 王军;合成制备亚微米TATB的技术研究[D];中国工程物理研究院;2001年
5 付萍;超深亚微米下IC光刻过程透射成像研究[D];浙江大学;2002年
6 徐晟;金刚石衬底上压电薄膜的制备研究[D];天津理工大学;2005年
7 徐娜;适用于多层膜高频SAW器件的AlN薄膜制备与表征[D];天津理工大学;2007年
8 朱钰;亚微米液芯光纤的理论与实验研究[D];上海交通大学;2008年
9 高新亮;JN10硬质合金顶锤的研制[D];山东大学;2007年
10 许景洋;SrA吸附剂制备及用于焦炉煤气中氢气甲烷分离[D];大连理工大学;2008年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者 吴月辉;英特尔推出二千兆赫奔腾四芯片[N];新华每日电讯;2001年
2 中国科学院微电子中心 吴德馨;千兆赫时代:通信IC面临新机遇[N];中国电子报;2001年
3 王俊鸣;千兆赫硅调制器提速50倍[N];科技日报;2004年
4 记者 张小军;英特尔推出速度最快的“芯”[N];新华每日电讯;2001年
5 ;三菱材料用新材料SAW滤波器面市[N];中国有色金属报;2002年
6 陈红;泰克实时示波器TDS7000系列再上层楼[N];通信产业报;2000年
7 唐敏 思潮;声表面波滤波器市场及发展[N];中国电子报;2000年
8 倪永华;高技术让汽车更安全[N];科技日报;2005年
9 特约记者 魏双林;河北研制新型亚微米过滤机[N];中国化工报;2004年
10 魏双林;亚微米过滤技术获专利[N];中国矿业报;2005年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978