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CMOS集成电容绝对压力传感器

周闵新  秦明  黄庆安  
【摘要】:CMOS集成电容绝对压力传感器是基于集成电路主流工艺集成的新型传感器 ,克服了传统传感器的缺点并利于批量生产。介绍了传感器的原理、结构及处理电路 ,并对微系统集成的概念及生产工艺进行了讨论 ,对传感器的应用前景及领域进行了展望与预测。

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6 记者 刘传书;深圳IC设计产值冠华夏[N];科技日报;2009年
7 成都高新区技术创新服务中心副主任 段志刚;成都:系统整机资源促进IC业稳步增长[N];中国电子报;2009年
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9 深圳商报记者 洪宾;两大国家级联盟 深圳IC基地担重任[N];深圳商报;2010年
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