收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

新结构的硅一体化双岛压力传感器

蒋晓波  
【摘要】：本文所述的新结构的硅一体化双岛压力传感器与传统的双岛压力传感器相比具有温度特性好、工艺简单等优点,对过载保护后传感器输出特性的饱和,给出了一个新的解释。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王懋诩;;稳压电源中抑制冲击电流的方法[J];电子技术;1981年10期
2 马秀兰;;VHF/UHF无线电系统中的互调——查出并使其影响减至最小[J];移动通信;1981年01期
3 P.C.Chao;为民;;用于低噪声MESFET的高厚-长比的0.1微米栅制造工艺[J];微纳电子技术;1982年04期
4 张弛;;日电研制X波段自对准栅增强型InP MISFET[J];微纳电子技术;1982年06期
5 贾鸿智;;热释电探测器与CCD混和焦平面:直接电荷注入的分析和设计[J];红外与激光工程;1983年02期
6 张文义;;医用X线机透视自动控制[J];电子技术;1983年03期
7 李全清;张炳南;;新颖稳压电路[J];电子技术;1983年07期
8 胡思强;键合材料对GaAs/GaAlAs双异质结激光器和发光管串联电阻和热阻的影响[J];半导体光电;1984年01期
9 W.Marshall Leach;张小秋;李仲儒;;低瞬态互调失真(TIM)的音频功率放大器[J];电声技术;1984年05期
10 钱祥;黄群;;循迹能力——拾音头的重要性能[J];电声技术;1984年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 徐永青;杨拥军;郑七龙;李海军;;新型硅—铝—硅结构MEMS加工技术及应用[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
2 韦鹤;王晓东;刘冲;廖俊峰;;塑料微流控芯片的超声波焊接键合的仿真[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）[C];2005年
3 刘洋;何国强;李江;余晓京;秦飞;;过载条件下长尾喷管发动机三维两相流场数值模拟[A];中国宇航学会2005年固体火箭推进第22届年会论文集（发动机分册）[C];2005年
4 张凌;蒋心怡;黄靖;;舰船梯形电力网络重构仿真研究[A];现代船舶机电维修技术（2005）[C];2005年
5 邵西谦;张焕英;;调整开关整定值 增加供电可靠性[A];2005年电子玻璃学术交流研讨会论文集[C];2005年
6 李广波;龙文华;贾科淼;江晓清;王明华;王跃林;杨建义;;玻璃基硅光波导的研制[A];浙江省光学学会第九届学术年会暨新型光电技术青年论坛论文集[C];2005年
7 赵剑英;邱雪鹏;高连勋;;通过表面原子转移自由基聚合(ATRP)键合片基的方法[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
8 赵剑英;邱雪鹏;高连勋;;通过有机反应共价键合片基的方法[A];第三届全国微全分析系统学术会议论文集[C];2005年
9 马昱博;石峰;何昱德;张世国;邓友全;;苯胺氧化羰化的高效催化剂:介孔硅胶纳米材料键合含硒阴离子离子液体[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集（上册）[C];2006年
10 马昱博;石峰;何昱德;张世国;邓友全;;离子液体催化体系催化羰化含氮化合物合成苯胺基甲酸酯研究[A];第十三届全国催化学术会议论文集[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 廖娟;过载桥梁的碳纤维布加固试验与理论研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 包晓清;氮化硅薄膜转移技术与多孔硅基一维光子晶体制备研究[D];华东师范大学;2005年
2 黄家友;对旋轴流式通风机设计理论与方法的研究[D];安徽理工大学;2005年
3 邓强;波形整形器在火工品高过载实验中的应用[D];南京理工大学;2005年
4 吴艳霞;高加速度过载对硼系延期药延期性能的影响[D];南京理工大学;2005年
5 王宏霞;掺杂有机大分子水化硅酸钙的结构及键合原理[D];中国建筑材料科学研究院;2005年
6 甄万宝;SOI新结构制备及SOI基悬浮式薄膜谐振器的研制[D];四川大学;2005年
7 严晓方;永磁无刷直流电机与低速同步电机的应用系统设计[D];浙江大学;2006年
8 王杰;电子技术在薄层色谱中的应用研究[D];沈阳药科大学;2005年
9 侯景华;基于Apache的Web服务器性能优化和分析[D];西安电子科技大学;2006年
10 徐敏;聚合物微流控芯片热压工艺及理论研究[D];大连理工大学;2006年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 宋可文;贺利氏招远成为全国最大键合丝供应商[N];中国电子报;2000年
2 记者 唐先武 通讯员 王辉东;解放军理工大爆破技术高超[N];科技日报;2001年
3 朱建国;键合金丝 前途光明商机无限[N];中国有色金属报;2002年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978
订卡电话 400-819-9993
在线咨询 http://help.cnki.net
京ICP证040441号
京公网安备11010802020475号
违法和不良信息举报电话：400-062-8866
举报邮箱：jubao@cnki.net
©2022中国知网（CNKI）