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用溶胶-凝胶法制备PZT铁电薄膜

吴湘伟  陈振华  
【摘要】:用溶胶-凝胶法在单晶Si、PLT/Si、PT/Si以及经过质子交换后的LiNbO3基片上制备了锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜,分析了界面扩散以及Pb含量对薄膜晶化的影响。在试验中,通过适当添加过量的Pb(CH3COO)2可以防止缺Pb焦绿石相的形成。

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