收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

GaAs外延薄膜的As缺位研究

王雪敏  吴卫东  阎大伟  王瑜英  唐永建  
【摘要】:研制太赫兹量子级联激光器的核心是制备以GaAs为代表的量子阱超晶格,在制备GaAs为代表的量子阱超晶格过程中,需要解决As缺位等基础性物理问题。采用激光分子束外延技术制备了GaAs外延薄膜,研究了实验参数对GaAs薄膜性能,特别是As缺位的影响。在线RHEED测试结果表明,GaAs可以实现外延生长。原位XPS和UPS等测试研究结果表明,激光分子束外延技术制备GaAs外延薄膜过程中存在As缺位问题,激光能量对GaAs薄膜中As含量具有明显的影响,要获得理想成分比的GaAs外延薄膜,需要较高的脉冲激光能量(600 mJ)。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;激光分子束外延设备[J];光学仪器;1996年05期
2 王雪敏;吴卫东;阎大伟;王瑜英;唐永建;;GaAs外延薄膜的As缺位研究[J];信息与电子工程;2011年03期
3 何萌;我国首台激光分子束外延设备和关键技术研究鉴定、验收会简讯[J];物理;1998年06期
4 吴方;我国第一台激光分子束外延设备研制成功[J];高技术通讯;1997年01期
5 崔大复,王玉堂;激光分子束外延[J];光电子.激光;1994年04期
6 王玉堂;我国第一台激光分子束外延设备和关键技术研究通过专家鉴定和国家基金委验收[J];光电子.激光;1998年04期
7 杨国桢,吕惠宾,陈正豪,崔大复,王会生,杨海清,缪风英,周岳亮,李林;激光分子束外延和关键技术研究[J];中国科学A辑;1998年03期
8 崔大复,王会生,马昆,陈正豪,周岳亮,吕惠宾,李林,杨国桢;激光分子束外延及其在原子水平生长BaTiO_3薄膜中的应用[J];量子电子学报;1996年05期
9 王晶,陈凡,赵彤,韩冰,徐凤枝,吕惠宾,陈赓华,周岳亮,陈正豪,杨乾声,杨国桢;用激光分子束外延的YBCO薄膜制备高稳定性DC-SQUID[J];低温物理学报;1999年01期
10 吕惠宾,杨国桢,陈凡,赵彤,周岳亮,陈正豪;激光分子束外延氧化物薄膜机理研究[J];中国科学A辑;2000年10期
11 徐东然;马葆基;肖效光;王长征;;激光分子束外延制备薄膜技术[J];聊城大学学报(自然科学版);2006年03期
12 沈明荣;李振亚;;半无限量子阱超晶格的电子表面态[J];苏州大学学报(自然科学版);1992年04期
13 何萌;刘国珍;仇杰;邢杰;吕惠宾;;用激光分子束外延在Si衬底上外延生长高质量的TiN薄膜[J];物理学报;2008年02期
14 马昆,王会生,吕惠宾,崔大复,周岳亮,陈正豪,胡文斐,陈莺飞,李林,杨国桢;激光分子束外延制备的BaTiO_3及c取向YBa_2Cu_3O_(7-δ)薄膜的生长模式[J];低温物理学报;1999年05期
15 崔大复,陈凡,赵彤,师文生,陈正豪,周岳亮,吕惠宾,杨国桢,黄惠忠,张宏霞;激光分子束外延BaTiO_3薄膜最顶层表面原子平面与薄膜生长机理[J];物理学报;2000年09期
16 崔大复,P.Chen,S.Y.Su,J.Lin,C.K.Ong;激光分子束外延生长LaNiO_3薄膜最顶层原子平面的角分辨X-射线光电子谱研究[J];量子电子学报;1998年06期
17 王会生,马昆,刘彦巍,彭志强,刘维,崔大复,吕惠宾,周岳亮,陈正豪,李林,杨国桢;BaTiO_3铁电薄膜的原子层水平外延生长[J];中国科学A辑;1997年01期
18 何萌;吕惠宾;黄延红;赵昆;田焕芳;相文峰;陈正豪;周岳亮;金奎娟;李建奇;杨国桢;;用激光分子束外延在Si衬底上外延生长La_(1-x)Sr_xMnO_3单晶薄膜[J];中国科学G辑;2005年06期
19 张一清;王长征;张培明;郑立波;肖效光;张栋;;LMBE法生长ZnO薄膜的结构和光学性能[J];功能材料;2008年06期
20 李兰英;张栋;王长征;;激光分子束外延ZnO薄膜的缺陷发光研究[J];广西师范学院学报(自然科学版);2010年01期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 张景文;徐庆安;杨晓东;贺永宁;王洪波;张伟风;侯洵;;ZnO自组织量子点的L-MBE外延生长[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
2 贺永宁;朱长纯;刘卫华;张景文;;基于ZnO纳米晶薄膜的紫外半导体激光器件的材料设计[A];纳米材料和技术应用进展——全国第三届纳米材料和技术应用会议论文集(下卷)[C];2003年
3 邢晓;王文军;张栋;刘云龙;高学喜;张丙元;;生长温度与氧压对LMBE制备纳米TiO_2薄膜的影响[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
4 李言荣;;BaTiO_3类介电薄膜在GaN上的外延生长和性能研究[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
5 刘玉龙;杨洋;张丽艳;朱恪;刘霄宇;郭海中;马树元;;Nb:BaTiO_3薄膜的相变和氧空位缺陷的拉曼散射研究[A];第十五届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前3条
1 黄文;典型的铁磁、铁电氧化物薄膜界面分析与界面控制方法的研究[D];电子科技大学;2008年
2 刘云燕;ZnO薄膜的表面形貌与应力特性研究[D];山东师范大学;2011年
3 钱冬;3d金属超薄膜的结构和磁性研究[D];复旦大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前4条
1 杨为家;立方AlN薄膜的激光分子束外延生长及其表面演变的研究[D];广西大学;2012年
2 吴永辉;激光MBE生长BN和AlN薄膜材料及光电性质研究[D];河南大学;2011年
3 王传超;Co掺杂的ZnO基稀磁半导体[D];山东师范大学;2012年
4 戴萍;钙钛矿锰氧化物三层膜的应变分析[D];南京理工大学;2010年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978