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浸没式等离子体表面改性技术

田修波  汤宝寅  王松雁  
【摘要】:研制了浸没式等离子体表面改性装置,等离子体由外置等离子体源产生,使装置对材料的处理工艺变得灵活。配置的高抵压脉冲电源可进行单纯的等离子体注入,也可进行等离子体的注入与氮化,同时可对采用的工艺进行优化,因而提供了一种有效的等离子体表面改性方法。

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