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微细加工技术简介

陶友松  
【摘要】:正 微细加工技术是由半导体、薄膜等微型器件发展而带动起来的一门新技术。这门技术的加工过程是原子、分子、离子和电子间的相互作用,伴随着物理、化学、光、声、电的综合效果。在加工过程中,要几种工艺手段前后交错,相互渗透以达到预期的工艺要求。微细加工技术的建立促进了集成光学,声表面波器件、磁泡器件、激光陀螺、光纤陀螺、超导器件等新型器件的出现和发展。

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