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羰基钼化学气相沉积对模具表面改性的研究

吕弋  章娴君  罗玲  郑瑞伦  
【摘要】:以Mo(CO) 6 为物源在刀具钢回火温度以下实施了气相沉积超硬膜涂覆 ,经实验测试、分析 ,结果表明薄膜中含碳量是影响薄膜表观硬度的重要因素 ,并且该薄膜能改善刀具 (钻头 )的表面力学性能 ,增加其使用寿命

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