高频低压等离子体浸没离子注入技术研究

【摘要】：利用低电压注入可以在相同的温度下较传统高压PIII获得更高的注入剂量率,同时在注入脉冲过程中形成较薄的离子阵鞘层,以利于提高注入剂量均匀性。低压与高频注入相配合可获得合适的处理温度和注入剂量率。研究结果表明,经高频低压PIII处理后的SS304样品硬度明显提高;氮元素内扩散可达1.5μm,表面氮浓度接近20%。

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前10条

1	何平,鲍永明;高频真空熔融气相色谱分析仪[J];真空;1990年03期
2	杨文杰,栾福香;脉冲式高频振荡引弧器的研究[J];佳木斯大学学报(自然科学版);1996年03期
3	陈惟岐,蒋京颐;油田掺水集油系统的高频防垢[J];油气储运;1996年01期
4	刘维多;中频代高频处理的研究[J];国外金属热处理;1998年02期
5	刘泽,刘吉和;高频直缝焊钢管的焊接要素与机理[J];焊管;1998年03期
6	王凤巢,张建,崔景亭;高频脉冲电脱水机理浅析[J];石油规划设计;1998年03期
7	于淑贤;研究地震面波和高频噪音的实用信号采集系统[J];西安石油学院学报(自然科学版);1998年05期
8	钱绍湖,顾汉明,王晓华,王向阳,蒋先勇,刘忠亮;在高分辨率地震勘探中仪器为什么要加低截滤波器[J];物探装备;1998年01期
9	李双明,李建国,傅恒志;液态金属的无容器近终成形[J];稀有金属材料与工程;1999年01期
10	赵波;地震高频检测技术及其应用[J];石油勘探与开发;1999年06期

中国重要会议论文全文数据库

前9条

1	杨鲁伟;G．Thummes;;高频同轴脉冲管制冷机研究[A];第六届全国低温与制冷工程大会会议论文集[C];2003年
2	李清华;邵志标;耿莉;孙海珺;;高频单片DC-DC buck变换器的驱动与控制设计[A];2005中国控制与决策学术年会论文集（下）[C];2005年
3	班怀国;吴兰鹰;郭瑞;;悬臂式力矩器高频动态特性研究[A];北京力学学会第12届学术年会论文摘要集[C];2006年
4	闫朝阳;李建霞;郑颖楠;邬伟扬;;一种新型结构的DC-AC矩阵变换器前级电路[A];2006中国电工技术学会电力电子学会第十届学术年会论文摘要集[C];2006年
5	蒋达大;张定福;;高频大孔径线列阵指向性测量[A];中国造船工程学会电子技术学术委员会2006学术年会论文集（下册）[C];2006年
6	曹哲明;;高频大地电磁测深在隧道工程勘察中的应用[A];第二届环境与工程地球物理国际会议论文集[C];2006年
7	李传曾;张宏珂;;MVS型电磁振动高频振网筛[A];第六届全国颗粒制备与处理学术会议论文集[C];2000年
8	安天思;郝新亚;;潜艇高频声目标强度数据分析方法[A];2001年全国水声学学术会议论文集[C];2001年
9	安天思;郝新亚;;潜艇高频声目标强度的测试和评估[A];2001年全国水声学学术会议论文集[C];2001年

中国博士学位论文全文数据库

前2条

1	房振明;基于非对称信息具有时间特性的中国证券市场价格行为研究[D];天津大学;2004年
2	卢晓芳;高频超声心动图评价大鼠急性大面积心肌梗死及低负荷状态下左室构形和收缩功能的实验研究[D];华中科技大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王建武;高频激振时效技术及装置的实验研究[D];浙江大学;2005年
2	赵卉;电流控制模式单片开关电源的设计[D];电子科技大学;2005年
3	董慨;无源软开关技术在非隔离型高频PWM变换器上的应用研究[D];福州大学;2006年
4	于韶洁;高频热稳定ANNT瓷料的研究[D];天津大学;2005年
5	李方杰;局部不规则场地对Rayleigh波的散射[D];天津大学;2005年
6	王文倩;400kHz复合有源箝位Boost型功率因数校正变换器的设计[D];浙江大学;2006年
7	林松;高频全桥软开关脉冲激光泵浦源的设计[D];合肥工业大学;2006年
8	张悦英;电子管E类大功率射频放大器的研究[D];郑州大学;2006年
9	李梅;兔坐骨神经急性挤压伤的超声表现与病理学对比的实验研究[D];第四军医大学;2006年
10	朱士加;应用于变电站接地测量系统的脉冲电源的研制[D];华北电力大学（河北）;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	吴映红;GaAs集成电路市场千帆竞发[N];中国电子报;2000年
2	罗懿;世纪永联搜索引擎获奖[N];中国企业报;2000年
3	周济;清华研制成功片式电感器材料[N];科学时报;2000年
4	吴卫;生产手机皮套危及飞行安全[N];深圳商报;2000年
5	方万;揭穿“保健台灯”的真面目[N];中国轻工报;2000年
6	蒋仕桦;家电新概念诱惑有多大[N];中国信息报;2000年
7	钟强;电子变压器的市场空间在哪里[N];中国电力报;2001年
8	信息产业部电子信息产品管理司基础产品处处长季国平;信息产业快速发展激活基础产品市场[N];中国电子报;2001年
9	陶沙;你了解汉字吗[N];大众科技报;2001年
10	龚向前刘志伟;武汉大学研制出高频地波雷达[N];科技日报;2001年

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