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声表面波驱动的转动马达研究

程利平  张广明  张淑仪  郁炯  水修基  
【摘要】:在128°旋转Y切割x方向传播的LiNbO3基片表面平行地光刻两对工作频率为30MHz的叉指换能器(IDT)作为定子,当高频电压加在IDT1和IDT3(或IDT2和IDT4)时,基片上将产生两列平行但方向相反的瑞利波束,从而使得基片与其上部的转子间存在局部地相对运动,在滑动摩擦力偶的作用下转子经过加速后运动趋于稳定。本文给出了工作频率为30MHz的声表面波转动马达的一些实验测量结果:在120Vp-p的电压驱动下,马达经过400ms的加速后,转动速度达到稳定,约为270rpm,并对其工作机理进行了理论分析及计算。

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