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基于微悬臂梁的传感技术研究

张奇  任权  靳鹏云  韩立  
【摘要】:本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论,分别介绍了微悬臂梁的制造工艺,修饰技术,激励、检测和控制技术,以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中,工作在动态模式时,品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文的重点便是介绍国际上最新出现的两种品质因子控制技术,一种是对微悬臂梁的材料进行了改进,使其在水溶液的品质因数达到40,另一种是把液体环境转移到悬臂梁内部,使其在水溶液中的品质因数达到700。

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