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纳米硬度计及其在微机电系统中的应用

张泰华  杨业敏  
【摘要】:微机电系统 (MEMS)技术的迅速崛起 ,推动了对其所用材料和结构的力学性能研究。本文简要介绍纳米硬度技术的发展、理论模型和MTS公司的NanoIndenterXP系统的配置、测量原理及功能。并根据我们的一些研究结果 ,说明它在微机电系统中的应用

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