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音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除

常洪龙  苑伟政  
【摘要】:误差源是以弱小信号处理为特征的微机械陀螺精度提高的主要制约因素。分析了音叉电容式微机械陀螺由本身工作模式和加工误差造成的两类误差源 ,并探讨了相应的消除方法。首先采用分离电极方法消除了驱动模态位移电流对敏感模态输出信号的耦合 ;用半频驱动方法抑制了驱动电压信号通过寄生电容对输出信号的耦合 ;通过在玻璃基体上开槽减轻了梳齿电容的静电悬浮以及玻璃基体上的电荷累积现象。然后通过对驱动电压幅值的自动调节弥补了由加工误差所造成的驱动电容不匹配 ,并采用同步解调消除正交误差。分析结果表明这些误差源的消除可提高微机械陀螺的精度水平

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