磁控溅射氧化镓薄膜的制备及紫外探测性能

【摘要】：采用磁控溅射技术在石英衬底上制备氧化镓(Ga_2O_3)薄膜,研究溅射过程中不同氩氧比对薄膜晶体结构、表面形貌、粗糙度、拉曼光谱以及紫外探测性能等的影响。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪和紫外-可见分光光度计等测试仪器对氧化镓薄膜进行表征分析。实验结果表明,氧化镓薄膜呈现β型晶体结构,薄膜表面晶粒尺寸均匀;溅射过程中加入氧气可以有效减少氧化镓薄膜中的氧空位缺陷,适当增大氧氩比可有效提高薄膜质量和薄膜对紫外光的探测能力。

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中国期刊全文数据库

前18条

1	韩增虎,胡晓萍,劳技军,李戈扬;Nb-Si-N混合薄膜的HRTEM观察[J];电子显微学报;2002年05期
2	;薄膜n沟SOIFET断路期间异常电压的过冲[J];微电子学;1994年04期
3	黄亚洲;刘磊;沙菁;陈云飞;;原子层沉积二硫化钼薄膜的机理及生长薄膜的质量[J];东南大学学报(自然科学版);2017年05期
4	李靓;姚熹;张良莹;;低介电常数多孔二氧化硅薄膜的制备与性能研究[J];固体电子学研究与进展;2005年04期
5	贾维国,丁铁柱,郭俊平;SrTi_(1-x)Mg_xO_(3-δ)薄膜的氧敏特性[J];内蒙古大学学报(自然科学版);1999年02期
6	杨永强;段羽;陈平;赵毅;;低温原子层沉积氧化铝作为有机电致发光器件的封装薄膜[J];发光学报;2014年09期
7	屈晓声,韦玮,吴洪才;硫化铜薄膜的两次蒸发制备[J];太阳能学报;1998年02期
8	曲喜新;现代电阻薄膜[J];电子元件与材料;1995年04期
9	金原粲,王大春;薄膜制作技术的现状[J];压电与声光;1989年01期
10	李瑞东;邓金祥;张浩;孙俊杰;张杰;张晓霞;庄需芹;;衬底温度对Rubrene:MoO_3混合薄膜性质的影响[J];物理实验;2020年08期
11	陈瀚;;ZnO薄膜的制备及应用[J];材料开发与应用;2011年04期
12	李书要;李瑜煜;;p型ZnO薄膜的研究新进展[J];电工材料;2008年02期
13	王锡铭;张俊英;丛亮;王天民;;厚度与工作温度对TiO_2薄膜气敏性能的影响[J];功能材料;2008年08期
14	张海燕,陈易明,伍春燕,何艳阳,王金华,朱燕娟;在氩气氛下生长的C_(60)薄膜的结构与特性[J];半导体学报;2001年10期
15	高淑雅;孔祥朝;张方辉;吕磊;;有机电致发光器件薄膜封装研究进展[J];液晶与显示;2012年02期
16	章从福;;日本TFT薄膜设备商在深圳建厂[J];半导体信息;2009年05期
17	孙建诚;孙青;景俊海;傅俊兴;王玉清;;光CVD-SiO_2薄膜的研究[J];西北电讯工程学院学报;1988年01期
18	陈佾,沈杰,徐伟,严学俭,章壮健,华中一,周峥嵘,陶凤岗;溶胶-凝胶法制备掺氟二氧化硅低介电常数薄膜[J];真空科学与技术;2002年01期

中国重要会议论文全文数据库

前20条

1	邵宇川;易葵;方明;张俊超;;脉冲直流反应磁控溅射制备氧化铌薄膜的性质[A];长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会论文集[C];2011年
2	白云山;邓明晰;;黏弹薄膜对声表面波传播特性影响的数值研究[A];中国声学学会第十一届青年学术会议会议论文集[C];2015年
3	薛其坤;;扫描隧道显微学在薄膜量子生长中的应用[A];2005年全国电子显微学会议论文集[C];2005年
4	罗迪帆;黄旭;江绍基;;微纳结构薄膜可控制备与光学特性研究[A];“广东省光学学会2013年学术交流大会”暨“粤港台光学界产学研合作交流大会”会议手册论文集[C];2013年
5	郝晓涛;;有机光伏薄膜中的微纳结构与光物理[A];2017全国太阳能材料与太阳能电池学术研讨会摘要集[C];2017年
6	施卫;侯磊;;超声热解法制备SnO_2:F薄膜加热管及其性能研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
7	涂海燕;张厚琼;周兰;;超薄薄膜靶制备技术[A];中国工程物理研究院科技年报（2000）[C];2000年
8	张璐;王一森;李成;陈松岩;黄巍;汪建元;;利用脉冲激光退火在柔性基底上制备多晶GeSn薄膜[A];第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会会议论文集[C];2017年
9	吴卫东;黄勇;罗江山;许华;;低压等离子体的研制及CxH_(1-x)薄膜的制备[A];第六届全国激光科学技术青年学术交流会论文集[C];2001年
10	叶芸;蒋亚东;;非晶镍铁磁敏薄膜的巨磁阻抗效应[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
11	惠迎雪;刘卫国;牛小玲;杭凌侠;樊慧庆;;β相聚偏二氟乙烯PVDF薄膜的制备和热光效应研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集（E 光电子器件技术专题）[C];2006年
12	于毅;赵宏锦;任天令;刘理天;;硅基AIN薄膜的成分与表面分析[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
13	佟洪波;巴德纯;肖金泉;闻立时;;氮化铝薄膜发光性能的研究进展[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
14	刘玉资;英敏菊;杜小龙;薛其坤;张泽;;纤维锌矿薄膜中30度旋转畴的TEM研究[A];2005年全国电子显微学会议论文集[C];2005年
15	吕学超;任大鹏;杜凯;谢军;郑凤成;;U薄膜和U-Al微靶制备[A];中国工程物理研究院科技年报（2005）[C];2005年
16	黄冠龙;张少卿;吴群;;一种高透光和强屏蔽新型CNT薄膜的研究[A];2010年全国电磁兼容会议论文集[C];2010年
17	周莹;耿永友;顾冬红;;反应磁控溅射法制备的NiO_x薄膜的结构及光学性能研究[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
18	马会中;张兰;姚宁;张兵临;;类石墨薄膜的脉冲激光沉积及场致电子发射特性研究[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
19	周斌;王珏;沈军;吴广明;孙骐;黄耀东;陈玲燕;;R-T不稳定性分解实验中的调制靶和薄膜靶的研制[A];第六届全国激光科学技术青年学术交流会论文集[C];2001年
20	常天海;;磁控溅射陶瓷靶制备氧化铟锡薄膜的结构与光电性能研究[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年

中国博士学位论文全文数据库

前20条

1	居勇峰;氧化钛薄膜的制备、微结构及特性研究[D];电子科技大学;2012年
2	朱振;碳化硅和蓝宝石衬底二氧化锡外延薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2012年
3	李邓玥;硅基锑化铟薄膜的制备与光电性能研究[D];哈尔滨工业大学;2013年
4	孔令沂;镓铟氧化物薄膜和氧化锡薄膜的制备与性质研究[D];山东大学;2011年
5	何林安;外延氧化锡和锡酸锌单晶薄膜的制备及性能调控[D];山东大学;2020年
6	苏卫锋;硅基稀磁半导体薄膜的制备及其结构和输运性质的研究[D];复旦大学;2010年
7	李天微;氢化微晶硅锗薄膜的微结构及光电特性的研究与优化[D];南开大学;2014年
8	姜春竹;磁控共溅射制备无氢碳化锗薄膜的结构和性能研究[D];哈尔滨工业大学;2012年
9	黄章立;低温相变氧化钒薄膜的制备及性能研究[D];华中科技大学;2013年
10	向嵘;氧化锌基紫外光电薄膜及器件的技术研究[D];长春理工大学;2011年
11	郭小松;热丝化学气相沉积制备硅氢薄膜及其性质的研究[D];兰州大学;2011年
12	张鹏展;光发射内量子效率高达60%的a-SiN_x:O薄膜发光机制和瞬态动力学的研究[D];南京大学;2016年
13	马晓思;联苯二胺类空穴传输材料的冷结晶性和薄膜稳定性研究[D];天津大学;2014年
14	王金鑫;锆钛酸铅基薄膜的铁电性能研究[D];哈尔滨工业大学;2019年
15	李岚;薄膜荧光屏的制备和发光性能及超辐射发光二极管热分析研究[D];河北工业大学;2006年
16	杨楠;铋系多铁氧化物外延薄膜的阻变特性研究[D];华东师范大学;2020年
17	韩涛;铝掺杂氧化锌及其与氮化镓薄膜肖特基接触和欧姆接触性质研究[D];武汉大学;2013年
18	周跤焰;二氧化钒薄膜的制备、掺杂改性及其光电器件研究[D];华东师范大学;2020年
19	张海燕;复合铪基高k薄膜的双频等离子体涂覆及机理研究[D];苏州大学;2015年
20	弭伟;Beta-氧化镓异质外延薄膜的制备及特性研究[D];山东大学;2014年

中国硕士学位论文全文数据库

前20条

1	冯艳彬;蓝宝石衬底上氧化镓薄膜的生长与退火研究[D];大连理工大学;2014年
2	袁想洋;氧化钨电致变色薄膜的研究[D];浙江大学;2007年
3	吴玲;钛化物节能薄膜的制备及其光电性能研究[D];浙江大学;2012年
4	阮崇鹏;基于有机发光二极管的薄膜封装技术研究[D];华南理工大学;2017年
5	江秋怡;镁锌氧薄膜及其器件的制备与性质研究[D];山东大学;2014年
6	张粲;TiO_2薄膜的制备及其性能研究[D];大连交通大学;2009年
7	黄飞;金薄膜加热互连线的失效机理与试验分析研究[D];湖北工业大学;2016年
8	孔祥朝;OLED硫系玻璃薄膜的封装及性能研究[D];陕西科技大学;2012年
9	刘芳;基于二氧化铪的高介电常数薄膜的制备与研究[D];杭州电子科技大学;2010年
10	艾梦婷;储氢薄膜的制备及应用研究[D];电子科技大学;2020年
11	都昊;异质外延生长红荧烯薄膜及性质的研究[D];长春理工大学;2016年
12	王潇;基于原子层与分子层沉积相结合的混合薄膜封装技术[D];吉林大学;2016年
13	谭嘉杰;等离子体增强化学气相沉积法制备优化TiO_2薄膜及其光学性能研究[D];广东工业大学;2011年
14	张洪涛;热氧化生成TiO_2及氮掺杂TiO_2薄膜的研究[D];太原理工大学;2007年
15	刘飞飞;ZnO:Mo薄膜的制备及特性研究[D];河北工业大学;2014年
16	虞丹群;微纳器件介电薄膜的制造工艺与特性研究[D];浙江大学;2016年
17	姚伟;粉末涂覆法制备铜铟镓硒薄膜[D];内蒙古大学;2015年
18	霍文星;氧化亚铜薄膜的分子束外延生长研究[D];北京邮电大学;2015年
19	余为国;薄膜阻容网络集成工艺研究[D];电子科技大学;2010年
20	孙丰博;Al_2O_3/alucone交叠结构的封装薄膜[D];长春理工大学;2014年

中国重要报纸全文数据库

前6条

1	特约记者魏莎莎;“黄金薄膜”膨胀电子信息产业[N];莱芜日报;2011年
2	崔瑞娟;台积电再发力瞄准薄膜领域[N];中国能源报;2010年
3	;白金薄膜传感器应运而生[N];中国电子报;2003年
4	黄女瑛 DigiTimes;无锡尚德上海薄膜厂动工[N];电子资讯时报;2007年
5	本报记者言焱;弃“硅片”取“薄膜” 机构光伏电池的新思维[N];21世纪经济报道;2009年
6	本报记者连晓东;应用材料新推柔性屏薄膜封装技术采用全CVD膜系[N];中国电子报;2014年

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