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离子束刻蚀在微细加工中的应用

陈国明  付新定  任琮欣  
【摘要】:正 一、引言在微细加工艺中,离子束刻蚀具有独特的优点。无沾污,无钻蚀,具有极高的刻蚀分辨率,刻蚀0.2微米的线条已付诸生产应用。最突出的优点乃是其刻蚀图形的台阶倾角可以控制,这是反应溅射刻蚀、等离子体刻蚀所无法做到的。因而离子束刻蚀在磁泡、大规模、超大规模集成电路、集成光学、声表面波器件及激光等有着广泛的应用。在特殊加工如表面抛光、光栅加工、电子显微镜试样的离子减薄以及生物和金相结构显示等技术上,离子刻蚀更显示出独特的优点。因而离子束刻蚀技术越来越受到人们的重视。

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