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自润滑微机械系统研究

田扬超  刘刚  洪义麟  付绍军  
【摘要】:介绍了一种制作含有固体润滑剂的自润滑微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用,能够有效地减少微电子机械接触面的微摩擦力和微电子机械的磨损,从而延长微电子机械的寿命。测试了以MoS2作为固体润滑剂的Ni微电子机械的摩擦系数和磨损,结果显示加入MoS2的微电子机械的摩擦系数与磨损仅为未加MoS2同类微机械的2/3~1/2与1/10~3/4。

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