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微细电火花加工装置的设计与应用

张勇  王振龙  胡富强  赵万生  
【摘要】:设计开发了一台用于微细电火花加工的微细加工装置,它主要由以下几个部分组成:花岗岩基座、精密伺服机构、精密高速旋转主轴、线电极磨削装置、微细电火花加工用的RC脉冲电源、加工状态检测系统和控制系统。在该装置上可以进行微细轴、微细孔和微三维结构的加工。具有4轴3联动功能,控制方便,容易实现数控插补功能。加工实验表明,在该装置上能稳定地加工出最小直径为12μm的微细轴以及25μm的微细孔,其长径比可分别达到25和10以上。并对半导体硅材料进行了加工实验,加工出的硅微梁深宽比达15以上。此外还给出了所加工的微三维结构实例。

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