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LIGA和微细EDM技术制造不锈钢微结构的研究

彭良强  伊福廷  张院春  邹丽芸  张菊芳  韩勇  
【摘要】:通过LIGA技术与微细电火花技术相结合 ,可以在硬质合金、不锈钢等材料上加工出微结构 ,这一新的方法必将拓宽微细加工的能力和应用范围。利用LIGA技术制备线宽 70 μm、厚度达 73 0 μm的铜工具电极 ,采用微细电火花技术在不锈钢片上加工出线宽 90 μm、具有复杂形状的微结构。

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