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硅基铁电薄膜的制备与电性能研究

任天令  张林涛  刘理天  李志坚  
【摘要】:用溶胶-凝胶 (Sol Gel)方法制备了有PbTiO3(PT)过渡层的硅基Pb(Zr0 .5 3Ti0 .47)O3(PZT)铁电薄膜 ,顶电极和底电极分别为溅射的金属钛铂层和低阻硅。在低温退火条件下得到了晶化很完善的铁电薄膜。测试结果表明有PT过渡层的铁电薄膜具有良好的铁电和介电性能。

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