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激光微加工的未来

黄德修

【摘要】：本文着重分析了一些正在发展中的激光微加工技术的现状和前景。并对今后微加工技术研究方向提出了一些看法。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	鲍希茂,黄信凡,郭禾,张梅;在离子注入硅激光退火时引入缺陷[J];半导体学报;1983年06期
2	邬建根,沈金萱,屈逢源,杨恒青,赵有源,高如芳;CW CO_2激光退火后离子注入硅片的性质研究[J];电子学报;1983年02期
3	卢励吾,许振嘉,蔡田海,阮圣央;硅中激光退火点缺陷的钝化/消除[J];半导体学报;1983年05期
4	刘传珍,杨柏梁,李牧菊,吴渊,张玉,李轶华,邱法斌,黄锡珉;激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究[J];液晶与显示;2000年01期
5	刘世祥,朱美芳,姚德成,石万全;激光退火的机理[J];物理;1983年09期
6	张培宁,丁乐礼;利用离子注入激光退火制作高效率多晶硅太阳电池[J];太阳能学报;1985年03期
7	王青圃,杨旭东,赵圣之,王公堂,程兴奎,岳书彬;掺钇非晶硅薄膜的激光退火[J];激光杂志;1989年01期
8	邹世昌,林成鲁;半导体的激光表面处理[J];微细加工技术;1984年03期
9	邹世昌 ,B.I.Deutch ,柳襄怀 ,陈朝荣 ,林成鲁 ,吴恒显 ,陆世桢 ,沈振东;离子注入硅Nd-YAG连续激光退火[J];电子学报;1979年04期
10	张燕,李向阳,姜润清,孙喻明,方家熊;砷注入碲镉汞的激光退火[J];红外技术;2000年04期
11	王巧霞;;一种很有前途的退火工艺——激光退火[J];电子工业专用设备;1979年02期
12	许少龙;激光退火产生磁泡[J];激光杂志;1980年02期
13	史永基;硅激光退火动力学[J];固体电子学研究与进展;1986年03期
14	姜润清,张燕,孙喻明;激光退火对碲镉汞电性能的影响[J];山东大学学报(自然科学版);2000年02期
15	张魁武;;半导体激光退火原理[J];世界制造技术与装备市场;2008年01期
16	宋马成;;半导体激光退火(Ⅱ)——实验现象的理论探讨[J];微纳电子技术;1981年04期
17	Eugene G.Arthurs ,Robert Falster ,郭树田;半导体的激光加工处理-最新资料[J];微电子学;1982年02期
18	孙宝寅,刘玉兰,李文年,江剑平,王振明;离子注入型蓝光灵敏的光电探测器[J];半导体学报;1985年04期
19	李美成,杨建平,王菁,陈学康,赵连城;脉冲激光制备硅基超薄PtSi薄膜[J];功能材料;2001年03期
20	A.E.Bell;陈桂英;;激光退火的评论与分析——第一部分:评述[J];微电子学与计算机;1981年04期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	徐二明;梁二军;;非晶硅薄膜激光退火的研究[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
2	孟兆祥;;用长脉宽固定宝石激光仪对244例脱毛观察[A];美丽人生和谐世界——中华医学会第七次全国医学美学与美容学术年会、中华医学会医学美学与美容学分会20周年庆典暨第三届两岸四地美容医学学术论坛论文汇编[C];2010年
3	;第二届亚太激光讨论会征稿简则[A];湖北省激光学会论文集[C];2000年
4	邓玲;陈仕国;马显光;廖新华;孙丽丽;;改善血液红细胞变形性的He-Ne激光血管照射技术研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
5	袁兴起;张明军;陈延如;赵琦;;群体粒子场圆偏入射光散射性质研究(英文)[A];第七届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2009年
6	朱飞;宁金龙;李小静;张林;郝冬月;刘烨;;激光联合药物应用治疗病理性瘢痕的初步研究[A];美丽人生和谐世界——中华医学会第七次全国医学美学与美容学术年会、中华医学会医学美学与美容学分会20周年庆典暨第三届两岸四地美容医学学术论坛论文汇编[C];2010年
7	张友寿;谢志强;王巍;;激光在核技术中的研究现状[A];第十次全国焊接会议论文集（第2册）[C];2001年
8	;二○○一年我国激光、光电子产业的发展[A];2002年全国全固态激光技术与应用研讨会论文集[C];2002年
9	张德宝;廖学兵;余英明;吴付栓;;基于单片机控制的火炮零线激光通用检校设备的设计[A];第十五届电工理论学术年会论文集[C];2003年
10	杨继庆;王斯刚;龙开平;屈学民;文峻;薛原;;激光血管、神经环形吻合方法的建立[A];科技、工程与经济社会协调发展——中国科协第五届青年学术年会论文集[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	张菲;电子材料紫外激光微加工技术与机理研究[D];华中科技大学;2012年
2	邬泳;光敏玻璃紫外脉冲激光微加工理论与技术的研究[D];天津大学;2009年
3	刘传珍;低温多晶硅材料及其器件的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
4	孙正滨;聚合物纳米复合材料制备与激光微结构加工研究[D];中国科学院研究生院（理化技术研究所）;2007年
5	李牧菊;高清晰度液晶显示用薄膜晶体管的研制[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
6	祁恒;高聚物基连续流式PCR微流控芯片系统与应用技术研究[D];北京工业大学;2009年
7	刘春阳;纳秒脉冲激光诱导单晶硅材料荧光效应的研究[D];天津大学;2012年
8	齐智;激光对增强的UV—B辐射蚕豆幼苗损伤的防护及修复作用[D];西北大学;2001年
9	黄金英;高品质低温多晶硅薄膜晶体管的制作与周边一体化设计[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2006年
10	李春根;经皮激光椎间盘减压术治疗腰椎间盘突出症的实验与临床研究[D];北京中医药大学;2008年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	卢涛;激光微加工系统研制[D];郑州大学;2002年
2	徐刚;宽禁带材料的激光微加工及其机理研究[D];武汉理工大学;2010年
3	崔健磊;157nm激光微加工工艺及自动化编程[D];武汉理工大学;2010年
4	杨雄;单晶硅紫外激光微加工工艺研究[D];华中科技大学;2011年
5	申雪飞;激光微加工表面质量改善的工艺实验研究[D];北京工业大学;2012年
6	徐东升;基于特殊激光微加工方法的设备研究和开发[D];江苏大学;2010年
7	张晓;超快激光微加工的实时监测和效果评估[D];西安工业大学;2012年
8	罗梦泽;一种场致发射阴极工艺的研究[D];武汉理工大学;2006年
9	殷伯华;准分子激光微加工控制系统研究[D];北京工业大学;2003年
10	黄俊;PECVD制备a-SiC:H薄膜及激光退火研究[D];厦门大学;2009年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	四川税超;激光电话实验记[N];电子报;2001年
2	记者赵凤华通讯员孙丽余文龙;华中科大引领武汉激光业[N];科技日报;2003年
3	记者周芳　通讯员徐卿;湖北馆：手指拨奏激光琴[N];湖北日报;2010年
4	张巍巍;澳研发出迄今最高效激光量子存储技术[N];科技日报;2010年
5	本报记者阮湘华;楚天激光[N];科技日报;2001年
6	本报记者阮湘华通讯员甘雨青肖开霖;激光：为啥论文多产业小[N];科技日报;2001年
7	;穿透的魅力：激光内雕[N];电脑报;2004年
8	赵津;激光治近视效果因人而异[N];天津日报;2005年
9	苏鸿英;激光喷射硬化和激光喷射硬化成形技术[N];世界金属导报;2004年
10	记者　曾遗荣实习生余启兰通讯员　冷承秋;楚天激光的创新之道[N];湖北日报;2006年

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