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LK—2型离子束刻蚀机

【摘要】:正 该机为电子工业部四十八研究所最近研制成功的新产品,构思新颖,结构紧凑,技术性能先进,并兼有立式、卧式两种加工方式。主要性能指标离子束有效束径:φ80毫米和φ40毫米两种。束流能量:100~1000ev连续可调。束流密度:0.2~1.0毫安/厘米~2。束流密度均匀性:有效束径内≤±5%。束流稳定性:一小时内≤±2%。真空度:极限真空≤5×10~(-6)托。工作真空≤3×10~(-4)托。

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