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毫米压电微电机的发展与应用

周铁英  鹿存跃  陈宇  
【摘要】:毫米尺度的微电机日益受到人们的关注,但是电磁电机的复杂结构和静电电机输出微弱限制了它们的应用,相比之下压电微电机具有独特的优势,结构简单且功率密度高。文章分类介绍了直径小于10mm压电微电机的发展状况、小型化的关键技术、应用领域和发展前景。

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