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SOI高温器件及其在汽车电子等领域中的应用

刘彦松  多新中  黄继颇  张苗  王连卫  林成鲁  
【摘要】:石油钻井、航空航天、汽车等工业领域急需能在高温下工作的器件和电路.SOI(silicon-on-Insulator)技术在高温器件和电路方面有着广泛的应用前景.文章简要介绍了SOI技术应用于制造高温器件和电路方面的进展情况

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