收藏本站
收藏 | 投稿 | 论文排版

极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究进展

曾交龙  高城  袁建民  
【摘要】:现代技术的飞速发展需要集成电路不断小型化,因而开发下一代光刻光源以满足小型化的要求成为当前的一项紧迫任务。目前工业界确定的下一代光刻光源是波长为13.5nm的极端远紫外(EUV)光源,它能够把光刻技术扩展到32nm以下的特征尺寸,氙和锑材料的等离子体光源被认为是这种光源的最佳候选者。文章在介绍EUV光刻原理和EUV光源基本概念的基础上,讨论了目前研究得最多、技术最成熟的激光产生的和气体放电产生的等离子体EUV光源,对EUV光源的初步应用进行了简单介绍,并着重对氙和锑材料产生的等离子体发射性质和吸收性质的实验与理论研究进展进行了详细介绍与讨论。目前的理论研究进展表明,统计物理模型还不能很好地预测氙和锑等离子体的发射与吸收光谱,因此迫切需要发展细致能级物理模型,以得到更为精确的等离子体光学性质参数,并用于指导实验设计,提高EUV转换效率。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张裕生;;电感耦合高频等离子体光源实验技术[J];机械;1981年04期
2 李朝阳;陈强;张广秋;;用于CTCP技术的射频无电极放电氮气等离子体光源研究[J];信息记录材料;2007年01期
3 夏义峰;计子华;;ICP-D型高频等离子体光源[J];光谱学与光谱分析;1984年06期
4 李朝阳;陈强;叶李明;蒲可懿;张广秋;;一种用于CTCP技术的新型脉冲等离子体光源[J];信息记录材料;2006年06期
5 李朝阳;陈强;张广秋;;印刷制版用N_2等离子体蓝紫光源的实验研究[J];信息记录材料;2006年03期
6 雷杰,付宏郎,林理忠,冯竞,黄鸣;OMA-Ⅲ对低气压Ar-MIP空间分布特性的光谱研究[J];光电子.激光;1991年03期
7 黄本立;吴绍祖;王素文;;降低高频电感耦合等离子体光源放电声响的简易方法[J];分析化学;1977年01期
8 张泽渤;纳秒微波等离子体光源[J];量子电子学报;1999年06期
9 曾交龙;高城;袁建民;;极端远紫外光刻的等离子体光源及其光学性质研究进展[J];物理;2007年07期
10 陈建强;张智光;张旨遥;周晓军;;光生等离子体光源照射阵列的设计[J];实验科学与技术;2008年04期
11 陈茜芝;蔡嘉坤;;MP-92高性能紫外检测仪[J];生命的化学;1993年02期
12 江超;王又青;;微放电阵列构成的直流平板等离子体显示技术[J];液晶与显示;2006年02期
13 赵环昱;赵红卫;;用于光刻的EUV光源[J];半导体技术;2007年01期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 孙对兄;苏茂根;董晨钟;;激光诱导击穿铝合金时空分辨光谱的研究[A];第十六届全国原子与分子物理学术会议论文摘要集[C];2011年
2 田荣花;;ICP-AES法测定氯化稀土矿中钍和铀的交流[A];第十三届全国稀土化学分析学术研讨会论文集[C];2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 李倩;高辐照度太阳模拟器光源的初步研究[D];中国科学技术大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978