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物理学研究与微电子科学技术的发展

王阳元  康晋锋  
【摘要】:回顾了微电子学的诞生和微电子技术的发展历史 ,展望了微电子技术未来的发展趋势 .在微电子技术诞生和发展过程中具有一些里程碑式的发明 ,如晶体管、集成电路、集成电路平面工艺、MOS器件、微处理器、光刻技术、铜互连工艺的发明等 ,其中物理学研究和突破起了关键的基础作用 .在社会需求、物理学研究和技术进步的推动下 ,微电子技术一直并将继续以特征尺寸缩小、集成度提高的模式 ,按摩尔定律预测的指数增长率发展 .微电子技术的发展 ,不仅为物理学的研究提供了崭新的技术基础 ,而且为物理学研究展现了更为广阔的空间 .但随着器件特征尺寸逐渐缩小并逼近其物理极限 ,微电子技术的发展将受到来自于材料、工艺和物理基础等方面的挑战 ,并呈现出多维发展的趋势 ,这些挑战涉及了微电子学与物理学的共同理论基础 ,需要二者互相锲合 ,期待新的突破 .

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