微细加工新方法——LIGA技术
【摘要】:本文介绍了一种微细加工新方法 LIGA(in German LIthograhy,GalvanoformungAbformung)技术的基本原理及特点.同时还简单说明了这种方法的技术要求.报道了国内外在这方面开展研究的成果
【相似文献】 | ||
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
【相似文献】 | ||
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|
|
|||||||||||||||||||||
|