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硼、磷、砷在硅中的扩散

卢志恒  
【摘要】:本文着重对B、P、As在Si中扩散的特殊理论问题和实验问题的发展过程和最近动态做了较系统的和概要的评述。

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1 邹睿;GaAs/AlGaAs多量子阱材料的辐照效应研究[D];四川大学;2002年
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