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原子层沉积法生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究

董亚斌  夏洋  李超波  卢维尔  饶志鹏  张阳  张祥  叶甜春  
【摘要】:介绍了新型材料ZnO的各项性能,并采用原子层沉积方法制备新型材料ZnO.实验中采用二乙基锌(DEZn)和水作为生长ZnO的前驱体源,在蓝宝石衬底上生长ZnO;采用氮气作为载气,生长温度为180℃.通过改变在实验中的通入锌源的时间,探索不同的DEZn的源的量对薄膜的成分(Zn/O)、薄膜的厚度、生长速率、晶型、表面形貌、三维形貌以及粗糙度的影响.

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