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裂纹或气泡对熔石英损伤修复坑场调制的近场模拟

章春来  刘春明  向霞  戴威  王治国  李莉  袁晓东  贺少勃  祖小涛  
【摘要】:建立了含有裂纹或气泡的高斯型修复坑的3维模型,用3维时域有限差分方法研究了熔石英后表面该类缺陷对355 nm入射激光的近场调制.研究表明,裂纹的调制明显大于气泡或者高斯坑本身,因此为了抑制修复元件的初始损伤,应尽量避免任何未修复的裂纹存在,尤其是与入射光呈夹角约25°的裂纹,同时应避免尺寸大于5λ的气泡存在.当裂纹或气泡位于近表面层3λ以内且靠近修复坑环边缘时,对场的调制最明显.随着侧移的增加,近表面区缺陷诱导场叠加,强点总数涨落较大且易形成极大峰值,特别是含有裂纹的情形;远表面区强点总数逐渐增大并趋于稳定.随着嵌深的增加,强点的数目大体呈减弱趋势,当嵌深大于3λ时,逐渐趋于平缓振荡.如果裂纹或气泡位于坑点正下方几个波长内,激光辐照下其效果相当于延长了高斯坑的深度.

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