双频容性耦合等离子体密度径向均匀性研究

【摘要】：利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.

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中国期刊全文数据库

前20条

1	蒋红兵;孙泉;刘一;吴朝新;杨宏;龚旗煌;;石英玻璃中飞秒激光导致的等离子体物理参数的测量[J];激光与光电子学进展;2005年12期
2	王斌;唐昌建;刘濮鲲;;离子通道中相对论电子注的切连科夫辐射[J];物理学报;2006年11期
3	曹宗亮;张微啸;包成玉;;激光致空气电离的离子引出研究[J];沈阳工业大学学报;2006年05期
4	牟宗信;牟晓东;贾莉;张鹏云;刘升光;董闯;;非平衡磁控溅射等离子体频谱特征[J];核聚变与等离子体物理;2010年02期
5	谭维翰,王润文,丁丽明,陈守华;球对称等离子体共振吸收的解析解[J];自然杂志;1979年08期
6	刘之景;等离子体中的孤立子[J];中国科学技术大学学报;1982年S1期
7	章辉煌;林尊琪;谷忠民;何兴法;戴美兰;庄亦飞;余文炎;;用266.0nm紫外激光探针研究等离子体冕区电子密度结构[J];中国激光;1989年06期
8	贾云峰,钱宝良,张建德,刘永贵;静电探针测量强流电子束电离气体产生的等离子体密度[J];强激光与粒子束;2000年03期
9	王帅;毛明;王友年;;感应耦合等离子体的1维流体力学模拟[J];强激光与粒子束;2006年01期
10	晋兴雨;邱锡钧;朱志远;;在相对论性激光_等离子体系统中初始物理参数对激光脉冲的影响[J];物理学报;2006年10期
11	赵国伟;王之江;徐跃民;粱志伟;徐杰;;射频激励等离子体非线性效应的FDTD数值模拟[J];物理学报;2007年09期
12	曾学军;马平;于哲峰;王志坚;马晓宇;李杰;;大气环境中喷流等离子体隐身试验研究与分析[J];实验流体力学;2008年01期
13	陈永东;廖成惠;鄢扬;;波在周期磁化等离子体中的传播特性[J];四川理工学院学报(自然科学版);2009年03期
14	欧阳吉庭;赵亮;曹菁;蔡崧;;等离子体对微带电磁波传输的影响[J];北京理工大学学报;2009年10期
15	张亚民;;电磁波在等离子体同轴波导中的传播特性研究[J];北京电子科技学院学报;2009年04期
16	汪秉宏;强激光对于电子的回旋共振加速[J];自然杂志;1991年03期
17	罗家融,季振山,王小明,揭银先;HT-7等离子体密度反馈控制系统的研究[J];核聚变与等离子体物理;2001年04期
18	王亮;曹金祥;王艳;牛田野;王舸;朱颖;;电磁脉冲在实验室等离子体中传播时间的实验研究[J];物理学报;2007年03期
19	王冬;陈代兵;范植开;邓景康;;L波段MILO低真空下工作特性的粒子模拟与实验研究[J];强激光与粒子束;2007年05期
20	赵国伟;王之江;徐跃民;梁志伟;徐杰;;等离子体天线轴向密度数值模拟和辐射图计算[J];中国科学院研究生院学报;2007年04期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	刘发林;窦元珠;;大动态等离子体密度测量用毫米波扫频干涉仪[A];1995年全国微波会议论文集（下册）[C];1995年
2	何迎花;余羿;闻一之;刘万东;;带内导体磁约束环的放电调试[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
3	缪婷婷;尚勇;赵红卫;孙良亭;张雪珍;赵环昱;王辉;马保华;李锡霞;朱玉华;冯玉成;李锦玉;刘占稳;;Helicon离子源的实验研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
4	周启燕;刘明海;胡鹏;陈兆权;;微波吸收探针测量等离子体参数[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
5	胡庆;蒙林;鄢阳;高荣;袁家德;;射频感应耦合等离子体的数值模型[A];第九届真空技术应用学术年会论文集[C];2006年
6	焦维新;高增勇;陶勇;;热层、电离层和中层大气探测的新方法和新技术研究[A];国家安全地球物理丛书（三）——地球物理探测与应用[C];2007年
7	辜学茂;王小明;秦品建;杨道文;罗南昌;李生发;李高云;胡建生;;HT-7U超导托卡马克抽充气系统设计[A];华东三省一市第三届真空学术交流会论文集[C];2000年
8	刘金远;陈龙;王丰;毛傲华;;聚变装置中边界等离子体的磁鞘层特性[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
9	宋晓琴;刘明海;王国栋;;非磁化等离子体覆盖金属方柱的电磁散射特性[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
10	钱宇骏;宋书通;丁可;张菁;石建军;;常压氩气脉冲调制介质阻挡辉光放电特性的数值模拟研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	李斌;等离子体微波特性及微波诊断方法研究[D];中国科学技术大学;2010年
2	袁强华;双频容性耦合等离子体特性的实验研究[D];苏州大学;2009年
3	王帅;双频容性耦合等离子体物理特性的混合模拟[D];大连理工大学;2008年
4	陈志鹏;碰撞条件下多凹腔型感应耦合等离子体组合性质和反常趋肤效应的实验研究[D];中国科学技术大学;2010年
5	桑超峰;偏滤器等离子体鞘层及氢同位素在器壁材料中的滞留模拟研究[D];大连理工大学;2012年
6	肖舒;等离子体填充介质Cerenkov振荡器和耦合腔链研究[D];电子科技大学;2001年
7	姜海富;细长管内腔空心阴极放电等离子体离子注入/沉积研究[D];哈尔滨工业大学;2009年
8	董克攻;激光尾波场加速电子的实验研究[D];中国科学技术大学;2011年
9	赵书霞;射频感性耦合等离子体放电模式转变机理的模拟研究[D];大连理工大学;2010年
10	卓红斌;等离子体融断开关物理机制的粒子模拟研究[D];国防科学技术大学;2002年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	赵文锋;ICP等离子体增强化学气相沉积制备纳米粉体氮化硅特性研究[D];华南师范大学;2004年
2	孙亮;电弧离子镀内孔镀膜研究[D];大连理工大学;2010年
3	尤左伟;N_2-O_2双频容性耦合等离子体的流体力学模拟[D];大连理工大学;2009年
4	荆兴斌;射频等离子体鞘层中粒子输运特性的研究[D];华中科技大学;2005年
5	李强;大气压梯形纳秒脉冲放电粒子模拟研究[D];大连理工大学;2011年
6	桑超峰;短脉冲放电等离子体PIC-MCC模拟研究[D];大连理工大学;2010年
7	刘仔莉;托卡马克装置中性束的光谱诊断研究[D];电子科技大学;2011年
8	王胜;几何位形及密度分布对托卡马克中环形阿尔芬本征模的影响[D];浙江大学;2011年
9	王二辉;EAST三道HCN激光干涉仪的研制的研制[D];中国科学技术大学;2010年
10	方金祥;快点火中快电子的能量沉积研究[D];哈尔滨工业大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前4条

1	董大为;挑战小于100纳米半导体设备[N];中国电子报;2001年
2	;HT—7超导托卡马克装置国际合作[N];科技日报;2000年
3	刘小革;我国核聚变研究中性束注入技术取得重大突破[N];四川日报;2000年
4	刘小革;我国核聚变装置壁处理再创新技术[N];四川科技报;2000年

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