微量掺碳nc-SiC:H薄膜用于p-i-n太阳电池的窗口层

【摘要】：采用等离子增强化学气相沉积方法(PECVD)制备了微量掺碳的p型纳米非晶硅碳薄膜(p-nc-SiC:H),反应气体为硅烷和甲烷,掺杂气体采用硼烷,沉积温度分别采用333K,353K和373K.测量结果表明随着沉积温度增加和碳含量的增加,薄膜的光学带隙增加;薄膜具有较宽的带隙和较高的电导率,同时有较低的激活能(0.06eV).Raman和XRD测量结果表明薄膜存在纳米晶.优化的p型纳米非晶硅碳薄膜作为非晶硅p-i-n太阳电池的窗口层,使得太阳电池的开路电压达到0.94V.

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5	王燕飞;王加贤;张培;杨先才;;纳米Ge-SiO_2薄膜对1342nm激光的被动调Q[J];华侨大学学报(自然科学版);2011年04期
6	闫万珺;周士芸;谢泉;桂放;张春红;郭笑天;;Co掺杂β-FeSi_2电子结构及光学性质的第一性原理研究[J];光学学报;2011年06期
7	刘士彦;郑玉龙;甄聪棉;潘成福;侯登录;;氮化硅的光致发光[J];河北师范大学学报(自然科学版);2011年04期
8	李竹影;刘冶;刘辉;;热处理对掺杂WO_3的ITO薄膜性能的影响[J];海军工程大学学报;2011年04期
9	周爱萍;张化福;刘汉法;;溅射功率对铝铬共掺杂氧化锌透明导电薄膜特性的影响(英文)[J];人工晶体学报;2011年03期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
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17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

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前10条

1	王艳玲;戴世勋;徐铁峰;聂秋华;沈祥;王训四;;碲钛铋系统玻璃的光学带隙及线性特性研究[A];2007年全国微波毫米波会议论文集（下册）[C];2007年
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3	邓加军;陈强;;掺硼对纳米硅薄膜的光带隙的影响[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4	刘渝珍;陈超;徐彭寿;张国斌;董立军;陈大鹏;;纳米硅对a-SiN_x：H薄膜荧光发射的影响[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
5	石卓琼;王军转;施毅;濮林;郑有炓;;掺Er Si/Al_2O_3多层薄膜光致发光性质的研究[A];第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
6	权乃承;高斐;孙杰;张佳雯;晏春愉;;退火对ZnS薄膜结构和光学特性的影响[A];2009年西部光子学学术会议论文摘要集[C];2009年
7	邓加军;王金良;陈强;徐刚毅;;掺硼纳米硅薄膜电学特性的研究[A];2000年材料科学与工程新进展（下）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
8	牛海军;张丽;白续铎;;垂直激光溅射法制备的纳米硅的荧光发射[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年
9	冯建鸿;卢铁城;吴卫东;;Br-GDP薄膜的结构与红外/紫外光谱分析[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年
10	孙甲明;W.Skorupa;L.Rebohle;M.Helm;;稀土离子注入的SiO_2MOS结构高效率电致发光器件[A];第11届全国发光学学术会议论文摘要集[C];2007年

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10	杨伟锋;铝掺杂氧化锌透明薄膜之制备及其在氮化镓基发光二极管之应用[D];厦门大学;2008年

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6	闫志君;可见光区域三维SiO_2光子晶体的制备研究[D];兰州大学;2006年
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9	刘晓静;多层锗纳米晶和氧化亚铜薄膜的制备及其特性研究[D];陕西师范大学;2012年
10	袁晓梅;射频反应磁控溅射制备氮化铜（Cu_3N）薄膜及其性能研究[D];兰州大学;2006年

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