人工裁剪制备石墨纳米结构

【摘要】：采用不同的方法裁剪高定向热解石墨(HOPG),制备纳米尺寸的石墨条.首先,发现用聚焦离子束(镓离子)刻蚀高定向热解石墨,可以得到边缘整齐程度在几十纳米的石墨条,另外,用电子束曝光和反应离子刻蚀的工艺,可以得到最小尺寸为50nm的纳米石墨图型(nanosizedgraphitepattern,纳米尺寸的多层石墨结构).采用了三种不同的方案制备反应等离子刻蚀过程中需要的掩膜,分别是PECVD生长的SiO2掩膜,磁控溅射的方法生长的SiO2掩膜和PMMA光刻胶掩膜,并将三种方案的刻蚀结果做了对比.

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中国期刊全文数据库

前20条

1	颜志齐;李建国;徐红军;刘玉环;;高定向热解石墨的研制[J];炭素技术;1984年03期
2	范桂锋;朱宏伟;;石墨烯:打开二维材料之门——评2010年诺贝尔物理学奖[J];现代物理知识;2010年06期
3	颜志齐;;《中国冶金百科全书》炭素材料卷试写条目(续2)[J];炭素技术;1990年05期
4	宋永海;汪莉;姚勇;催康;谌创业;;高定向热解石墨表面超大结构的扫描隧道显微镜研究[J];江西师范大学学报(自然科学版);2007年06期
5	崔乃迪;梁静秋;梁中翥;周建伟;宁永强;王维彪;;二维硅薄膜光子晶体波导的设计及制作[J];光学精密工程;2010年12期
6	王祺;赵华波;张朝晖;;高定向热解石墨表面局域导电增强现象的扫描探针显微学研究[J];物理学报;2008年05期
7	冯颖;黄世华;康凯;段晓霞;;石墨烯片的制备与表征[J];新型炭材料;2011年01期
8	陈天星;张向军;孟永钢;;原子力显微镜摩擦力标定的改进楔形法[J];中国表面工程;2011年04期
9	黄启忠,颜志齐,张名大;高定向热解石墨的两相石墨化现象[J];炭素;1986年02期
10	钱丽萍;邓文礼;;正十八烷醇在HOPG上形成自组装膜的吸附特性(英文)[J];物理化学学报;2008年03期
11	惠飞;李宾;何品刚;胡钧;方禹之;;电化学控制产生纳米氧气气泡及其对电化学聚合吡咯形貌的影响[J];化学学报;2009年06期
12	华彬;;导电性电子束抗蚀剂[J];化工新型材料;1989年08期
13	李晶,张柏林,汪尔康;钴卟啉修饰电极对分子氧电催化还原的扫描隧道显微镜研究[J];化学学报;1994年07期
14	张洋;朱新利;廖志敏;俞大鹏;;金属表面微纳米光滑构造的新方法[J];电子显微学报;2009年06期
15	刘锡洹;查吉生;;国外电子束、X射线、离子束用抗蚀剂发展近况[J];江苏化工.市场七日讯;1986年03期
16	任敏;陈培毅;邓宁;;纳米尺度自旋转移矩器件的制备工艺[J];微纳电子技术;2011年11期
17	黄启忠;;高定向热解石墨中的两相石墨化对其性能的影响[J];炭素技术;1986年05期
18	杨忠国;;炭成为一种导电体[J];炭素技术;1988年03期
19	;碳素表征和术语国际委员会“首次颁布30项定义提案”(续)[J];炭素技术;1984年05期
20	东条徹 ,杉原和佳 ,何宝顺;电子束曝光机工作台及精密轴承——用电子束扫描提高LSI图形精度[J];航天制造技术;1987年04期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	张楠;杨景辉;朱晓农;;不同流量飞秒激光脉冲烧蚀高定向热解石墨的超快动态过程的研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2	刘干;;电子束化学增幅抗蚀剂国内外现状及发展趋势[A];电子专用化学品高新技术与市场研讨会论文集[C];2004年
3	刘干;;ULSI用新型高性能光刻胶的研究[A];集成电路配套材料研讨会及参展资料汇编[C];2004年
4	钱丽萍;邓文礼;;长链烷烃衍生物在HOPG表面上的自组装膜结构[A];中国化学会第26届学术年会纳米化学分会场论文集[C];2008年
5	田丰;韩立;顾文琪;;高能电子束纳米曝光系统的研制[A];第三届全国扫描电子显微学会议论文集[C];2003年
6	杨德清;宋江红;王智;陈尔纲;;尖端场发射系统形状系数β的计算[A];第五次全国电子显微学会议论文摘要集[C];1988年
7	顾宁;鲁武;陆祖宏;沈浩瀛;张兰;;PMMA、AZ1350 LB膜应用于电子束刻蚀的研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
8	王猛;柳波;张新宇;谢长生;张天序;;红光高清光存储光学头衍射物镜的研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集（下册）[C];2009年
9	王旭迪;付绍军;;利用UVN-30光刻胶制作高线密度纳米压印模板[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
10	王衍斌;唐永建;朱效立;张林;陈志梅;马小军;;微米点阵列埋点靶的制备[A];第十届中国核靶技术学术交流会摘要集[C];2009年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	段辉高;10纳米以下图形电子束曝光的研究[D];兰州大学;2010年
2	刘珠明;纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2005年
3	郝慧娟;电子束光刻的三维加工和邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2007年
4	卢文娟;电子束重复增量扫描产生三维结构的关键技术研究[D];山东大学;2007年
5	惠飞;HOPG表面纳米成膜性质的电化学原子力显微镜研究[D];华东师范大学;2009年
6	杨新梅;高定向热解石墨的铁磁有序机理研究[D];山东大学;2010年
7	冯俊波;硅基微纳光栅耦合器件及其制备技术研究[D];华中科技大学;2009年
8	宋会英;电子束光刻的Monte Carlo模拟及邻近效应校正技术研究[D];山东大学;2006年
9	冯卫;磁性原子和磁性分子在不同表面的扫描隧道谱学研究[D];中国科学技术大学;2012年
10	刘奇斌;相变存储单元热模拟及其CMP关键技术研究[D];中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	孙帅;纳米尺度新结构MOS器件关键工艺技术研究[D];长春理工大学;2012年
2	黄秀荪;电子与固体相互作用的Monte Carlo模拟[D];中国科学院研究生院（电工研究所）;2004年
3	刘干;化学增幅光刻胶及其在电子束光刻中的应用[D];江南大学;2008年
4	陈明;掩模板光刻工艺研究[D];复旦大学;2011年
5	姚勇;生物有机分子的自组装及应用的AFM研究[D];江西师范大学;2009年
6	张晓东;表面等离子体增强型T密度近场光存储纳孔光探针阵列研究[D];长春理工大学;2009年
7	孙晓凤;电化学原子力显微镜的研制[D];华东师范大学;2010年
8	王强;用于紫外光刻的聚焦光学系统的研究[D];重庆大学;2007年
9	王强;微型紫外光刻系统的研究[D];重庆大学;2007年
10	侯克玉;缺陷结构与石墨铁磁性的关联性研究[D];山东大学;2011年

中国重要报纸全文数据库

前6条

1	穆强赵艳秋编译;下一代光刻技术的烦恼[N];中国电子报;2002年
2	本报记者赵艳秋;光掩模行业：打造中坚力量[N];中国电子报;2002年
3	董大为;挑战小于100纳米半导体设备[N];中国电子报;2001年
4	诗文;翔准推出90纳米掩模技术[N];电子资讯时报;2002年
5	郭金彬;纳米技术与思维变革[N];福建科技报;2000年
6	;中德科技合作又结硕果[N];重庆日报;2009年

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