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离子注入GaAs的脉冲激光退火

刘世杰  S.U.CAMPISANO  E.RIMINI  
【摘要】:利用沟道背散射、俄歇和X射线光电子能谱技术研究了Nd:YAG和红宝石脉冲激光退火的离子注入GaAs样品的表面性质。结果表明,对于这两种激光都存在一个从无定形向单晶转化的阈值能量,在阈值能量附近,没有明显的表面分解。高能量密度可引起明显的分解和损伤。利用热流理论计算了杂质的再分布。对于两种激光都得到了Te在GaAs中较高的替位率。

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