退火对TiO_2薄膜形貌、结构及光学特性影响

【摘要】：利用射频磁控溅射技术在熔融石英基片上制备TiO2薄膜,采用X射线衍射、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱以及透过谱研究了退火温度和退火气氛对TiO2薄膜的结构、形貌和光学特性的影响.实验结果表明:在大气环境下退火,退火温度越高,薄膜晶化越好,晶粒明显长大,温度高于700℃退火的薄膜,金红石相已明显形成.实验还发现,退火气氛对金红石相的形成是非常重要的,拉曼光谱反应出Ar气氛退火,抑制了金红石晶相的发育,薄膜仍以锐钛矿相为主.Ar气氛退火的薄膜在可见光范围内的透过率比大气退火的要低,并且由透过率曲线推知:金红石的光学带隙约为2.8 eV,比锐钛矿的光学带隙小0.2 eV.

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11	马晓敏;赵占霞;宋晨辰;赵磊;马忠权;;太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究[J];人工晶体学报;2011年04期
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14	陈海燕;邵艳群;唐电;;Ti/Ru_(0.1)Ti_(0.1)Sn_(0.8)O_2电极电容性能研究[J];电化学;2011年02期
15	刘涛;陈倩;赵小如;;退火温度对TiO_2及Nb掺杂TiO_2薄膜的影响[J];西华大学学报(自然科学版);2011年04期
16	吕亚洲;邱祖民;;Pb~(2+)-SiO_2-TiO_2复合催化剂的制备及光催化性能[J];南昌大学学报(工科版);2011年02期
17	张爱;郑宗敏;程方益;陶占良;陈军;;Li_4Ti_5O_(12)亚微米球的制备及其在锂离子电池中的应用[J];中国科学:化学;2011年07期
18	奚小网;胡林华;方霞琴;戴松元;;TiO_2薄膜优化对染料敏化太阳电池性能的影响[J];无机化学学报;2011年07期
19	杨同欢;丁飞;刘兴江;;全固态薄膜锂电池研究进展[J];电源技术;2011年07期
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9	王庆辉;靳映霞;朱忠其;张瑾;柳清菊;;纳米TiO_2薄膜的低温制备[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
10	柳清菊;张瑾;朱忠其;王庆辉;靳映霞;吴兴惠;;TiO_2薄膜光诱导超亲水性作用机理的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

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中国硕士学位论文全文数据库

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10	赵莉;钛酸锶钡非线性铁电薄膜的尺寸效应研究[D];电子科技大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

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1	;发布新型专利技术提供实用技改方案[N];中国化工报;2003年
2	万通;两种纳米新材料在安徽通过鉴定[N];中国有色金属报;2003年
3	孙萌;两种纳米新材料在皖通过鉴定[N];中华建筑报;2002年
4	王雪飞;瓣膜材料“升级”有望[N];健康报;2000年

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