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金属合金内扩散的X射线研究方法

王超群  
【摘要】: <正> 一、前言金属合金薄膜和界面层扩散的稳定性是关系到许多电子学装置预定寿命的一个重要因素。对于同样成分,但制备条件不同时测得的内扩散系数往往偏离较大,因此必须采用一种可靠的测量方法确定内扩散系数。X射线衍射分析技术特別适合于这类研究,因为它可以提供在一个小扩散区内成分与结构的信息,而且是无损的。

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