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光电检测中的误差修正技术

孙光东  
【摘要】:光学图样光电检测误差的计算机仿真修正技术直接模拟了光学图样的动态探测过程,并利用计算机仿真得到的结果对探测误差进行修正,其计算过程较为简单,且修正精度比曲线拟合法要高得多。当计算机模拟光电探测过程时,其扫描步长取得越小,仿真精度就越高。仿真结果可直接用于高精度探测误差的修正,而且这种动态仿真方法可以在类似的光学图样或光电信号变化过程的探测中推广使用。

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