收藏本站
收藏 | 投稿 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点

纠智先  李强  
【摘要】:介绍了脉冲激光沉积(PLD)制备薄膜的原理,讨论了射频辅助脉冲激光沉积镀膜技术的特点,通过分析比较证实了射频辅助脉冲激光沉积比无射频辅助脉冲激光沉积具有更突出的优点。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 李廷先;张铭;王光明;郭宏瑞;李扩社;严辉;;La_(2/3)Sr_(1/3)MnO_3/BaTiO_3复合薄膜的制备及其电致磁电效应研究[J];物理学报;2011年08期
2 李丽丽;梁齐;史成武;孔明光;李兵;;脉冲激光沉积制备SnS薄膜及其光学特性的研究[J];真空科学与技术学报;2011年04期
3 陶淑芬;;纳秒激光脉冲烧蚀金属铜的物理过程分析[J];激光杂志;2011年04期
4 魏显起;王勇杰;张仲;;退火对用PLD法制备ZnO薄膜的发光影响[J];红外与毫米波学报;2011年03期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;;脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
2 王淑芳;陈景春;葛大勇;陈珊珊;乔小奇;丁学成;王江龙;傅广生;;脉冲激光沉积条件对Bi_2Sr_2Co_2O_y热电薄膜结构与电输运性能的影响[A];2011中国材料研讨会论文摘要集[C];2011年
3 苏雪琼;王丽;陈江博;万晓婧;;脉冲激光沉积制备ZnO掺Co薄膜和宽带能隙分析[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
4 吴气虹;揭建胜;于琳;韩新海;王冠中;方容川;;脉冲激光沉积ZnO薄膜的变温光致发光研究[A];第九届全国发光学术会议摘要集[C];2001年
5 傅广生;于威;梁宝来;韩理;;脉冲激光消融碳等离子体动力学研究[A];2002年中国光学学会年会论文集[C];2002年
6 李松玲;王如志;赵维;宋志伟;王波;严辉;;脉冲激光沉积氮化铝薄膜及沉积参数对其场发射性能的影响[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第7分册)[C];2010年
7 朱建华;王毅;叶葱;叶芸;王浩;;脉冲激光沉积制备的HfO_2电学性能及其漏电流机制研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
8 曹培江;曾玉祥;贾芳;朱德亮;马晓翠;吕有明;;氧气压力对PLD ZnO薄膜形貌及光学性质影响[A];第十五届全国化合物半导体材料,微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
9 楼捷;叶邦角;翁惠民;韩荣典;杜淮江;;ZnO/M/ZnO金属介质多层膜的慢正电子研究[A];第十届全国正电子湮没谱学会议论文集[C];2009年
10 张魁武;;激光物理气相沉积术(四)[A];2002年全国全固态激光技术与应用研讨会论文集[C];2002年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 柯贤文;ZnO薄膜的制备及其掺杂研究[D];武汉大学;2011年
2 倪牟翠;用脉冲激光沉积制备SrTiO_3/Nb:SrTiO_3异质结及其光电特性研究[D];长春理工大学;2010年
3 王兆阳;ZnO和ZnO/MgO复合层薄膜的PLD法制备及其特性研究[D];大连理工大学;2006年
4 邢鹏飞;铁掺杂氧化铟铁磁性半导体薄膜的生长及性能研究[D];山东大学;2009年
5 张心强;铪基及稀土高k薄膜在Si、Ge及InP上外延生长及性能研究[D];北京有色金属研究总院;2011年
6 魏显起;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其光电性质研究[D];山东师范大学;2007年
7 刘玫;脉冲激光沉积(PLD)碲镉汞(HgCdTe)薄膜材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2009年
8 王天生;YBa_2Cu_3O_(7-δ)和MgB_2超导薄膜的制备及微观结构表征[D];燕山大学;2006年
9 刘维峰;ZnO:Al透明导电薄膜和ZnO发光器件的制备及特性研究[D];大连理工大学;2007年
10 张麟;抗凝血纳米功能薄膜材料的研制及抗凝血机理研究[D];中山大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 马玉英;脉冲激光沉积(PLD)制备β-FeSi_2薄膜及性能研究[D];山东师范大学;2011年
2 张灿云;常温下脉冲激光沉积立方氮化硼薄膜和金刚石的纳米成核热力学研究[D];湘潭大学;2003年
3 刘玫;脉冲激光沉积(PLD)半导体材料结构特性的研究[D];山东师范大学;2006年
4 吕珂;脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其结构和发光特性分析[D];江西师范大学;2006年
5 许士才;β-FeSi_2半导体薄膜的制备及性能的研究[D];山东师范大学;2011年
6 潘军;高温超导薄膜的制备及相关特性的研究[D];重庆大学;2008年
7 张志广;ZnO纳米材料的制备及其特性研究[D];山东师范大学;2006年
8 张德恺;脉冲激光沉积硅基发光薄膜及其特性研究[D];西北大学;2005年
9 徐华;脉冲激光沉积Pb_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3薄膜和(Pb,Sr)TiO_3/(Pb,La)TiO_3多层膜的介电性能及弛豫现象[D];苏州大学;2005年
10 丁旭丽;类金刚石薄膜的制备及光学性质研究[D];曲阜师范大学;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978