磁控溅射氮化铝薄膜取向生长工艺研究

【摘要】：氮化铝薄膜取向性直接影响到薄膜的压电特性和声波速度,是薄膜体声波谐振器/滤波器工艺过程中最重要的环节之一。对AlN薄膜材料的反应磁控溅射沉积工艺进行了研究,通过对AlN薄膜的取向性分析及其与工艺条件的比较,优化了取向性AlN薄膜的生长工艺条件,制备出了高取向和高致密的AlN薄膜。

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中国期刊全文数据库

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1	王敏容;用X射线衍射法研究碳纤维的微观结构[J];宇航学报;1980年01期
2	盐山 ,泷口 ,小川 ,张万河;测压范围10~5到10~(-3)帕简易的氮化钽薄膜规[J];真空;1981年05期
3	王敏容;;复合材料常用增强纤维的X射线显微结构分析[J];宇航材料工艺;1981年03期
4	郭富山,张茂才,杨鹤龄;新型高磁能铁铬钴钼柱晶永磁合金研究[J];北京科技大学学报;1982年S1期
5	姜恩永,直江正彦,山中俊一;用对向靶溅射钡铁氧体垂直磁化薄膜[J];天津大学学报;1984年04期
6	刘长义;;干压磁场成型的工艺实验[J];磁性材料及器件;1984年03期
7	K.M.Lakin;J.S.Wang;A.R.Landin;杨易旻;;氮化铝薄膜及复合体波谐振器[J];宇航计测技术;1984年S1期
8	强游;;金属铝表面制备氮化铝薄膜[J];真空与低温;1986年03期
9	谢学智,瞿永兴,邱国年;MoS_2-Ta体系自润滑复合材料(TM)的电镜研究[J];摩擦学学报;1987年02期
10	孙伟;硅灰及聚合物的掺入对钢纤维与水泥基材界面层的影响[J];硅酸盐学报;1987年06期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	戴军;;聚癸二酰癸二胺(PA1010)改性[A];中国工程塑料工业协会第一届年会论文集[C];1998年
2	齐尚奎;薛群基;徐洮;高玲;赵家政;;MoS_2表面氧化行为的研究[A];第五届全国摩擦学学术会议论文集（上册）[C];1992年
3	汪洪海;郑启光;丘军林;熊贵光;田德成;;激光熔蚀反应淀积AlN薄膜残余应力及热稳定性的研究[A];湖北省激光学会论文集[C];2000年
4	王卓;孙大亮;胡季帆;许效红;王栋;王民;王弘;王春雷;陈焕矗;房昌水;刘训春;魏珂;;Bi_2Ti_2O_7薄膜的反应离子刻蚀及原子力显微镜研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5	王弘;姚伟峰;候云;王栋;张寅;许效红;尚淑霞;余金中;;Φ75mm Bi_2Ti_2O_7介电薄膜的制备及物理性能研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
6	于毅;赵宏锦;任天令;刘理天;;AlN薄膜的制备与刻蚀工艺研究[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
7	于毅;赵宏锦;任天令;刘理天;;硅基AIN薄膜的成分与表面分析[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
8	龚文;李敬锋;褚祥诚;桂治轮;李龙土;;PZT陶瓷薄膜的后结晶过程及其对性能的影响[A];中国硅酸盐学会2003年学术年会论文摘要集[C];2003年
9	林华;黄维刚;涂铭旌;;VO_2的相变原理及影响相变的因素[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ[C];2004年
10	林煌;袁洪涛;童强;张阳;张跃;;MOCVD制备定向生长ZnO压电薄膜[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前3条

1	王志;定向碳纳米管、掺硼碳纳米管的ECR-CVD法制备与表征[D];东北大学;2004年
2	祝刚;ZSM-35沸石复合膜的合成、表征及性能研究[D];大连理工大学;2006年
3	卢焕明;硅基ZnO薄膜与一维ZnO材料的显微结构研究[D];浙江大学;2006年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	温春生;FeMnSi形状记忆合金的低温松弛及智能特性[D];河北工业大学;2002年
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5	胡伟达;层状类钙钛矿材料（C_nH_（2n+1）NH_3）_2MnCl_4（n=2，4，6，8，10，12）和（H_3NC_4H_8NH_3）MnCl_4的制备及表征[D];武汉理工大学;2004年
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7	沈智如;铁电SBN60薄膜的制备及性能研究[D];浙江大学;2005年
8	李永胜;Ni_（75）Al_xV_（25-x）合金沉淀行为的微观相场模拟[D];西北工业大学;2005年
9	熊杰;蓝宝石上生长大面积YBCO薄膜中的CeO_2缓冲层研究[D];电子科技大学;2005年
10	孙岳玲;模板法制备磁性纳米线阵列的研究[D];武汉理工大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者程晓东;节能环保型配电变压器问世[N];北京科技报;2000年
2	李阳;专家评说“话剧鲁迅”[N];北京日报;2001年
3	;浦项钢铁公司重点投资高附加值产品[N];世界金属导报;2001年
4	通讯员蒋宏记者高晓明;操控排布大面积多层纳米材料技术问世[N];光明日报;2002年
5	通讯员蒋宏记者何连弟;大面积纳米材料实现可操控排布[N];文汇报;2002年
6	顾定槐张明辉;纳米材料研究跨入应用阶段[N];中国化工报;2003年
7	;荷兰的经济及经济结构[N];国际商报;2004年
8	郝钢;西班牙开发透明稀土磁性材料[N];中国有色金属报;2005年
9	谢玲;浅谈工会在做好思想政治工作中的作用[N];郴州日报;2006年
10	肖英龙;JFE开发和生产软磁材料[N];世界金属导报;2006年

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